如今,国内外的市场上出现了各种无油的干式泵,但都是一些动态式的真空泵, 可将气体从100Pa压缩到大气压105Pa, 将气体排出泵外。这些泵典型的抽气曲线如图18所示。

 

图18　全无油泵的典范抽气的曲线

         图18中的曲线1为分子牵引泵机组(Alcatel),2为往复式活塞泵(Varian),3为多级罗茨泵,4为爪型泵, 5为螺杆式真空泵。

        一般对无油的干式真空泵要求: (1)清洁, (2)安全, (3)耐磨, (4)造价低, (5)维修方便, (6)性能稳定, (7)振动噪音低。只有这样,泵才有使用、推广的价值。
          (1) 在洁面的标准要求, 一些用油防锈的正空泵都全是个不确定性的油饱和蒸汽的被工业废气留存, 整个相关问题在全隔膜真空环境泵泵中是要有效搞定的, 另其中一个是静电的被工业废气。在正空体统必须增多或去除静电的被环境破坏, 当时全隔膜真空环境泵自吸式泵能够被认定是全隔膜真空环境泵、没有灰尘, 真实洁面的正空泵。         (2) 对可靠的标准。抽除几个欢快其他气体, 甚至几个副产品会在泵中形成沉积。严重的时, 会影响泵的普通 操作, 减轻泵的的使用生命周期, 全无油泵对抽空气中的氧气是可靠的。         (3) 自动运行投资人工成本。软件应用PFPE泵成品油费用太贵。尽可能时间长, 但顾客用一种泵油要几个月换一场, 每1kg 费用约200加元,故而干试泵必需投资人工费用低, 使顾客喜欢是不是选用无油版泵来的低廉。

          干泵真的无油吗?由前边的定义得知, 抽气腔是无油的。而机械传动部分还需油类润滑, 例如多级罗茨泵、爪型泵和螺杆型干式泵等。其传动齿轮的轴承都需要润滑。利用迷宫式密封结构, 去隔离泵腔和齿轮箱等部位, 最简单的方法是在泵腔和需要润滑的部位之间充入干燥的惰性气体, 或安装密封圈, 特别是罗茨泵一定要有良好的防返流措施才行。大部分罗茨泵在低压下使用。迷宫式结构能防止润滑油进入泵腔, 但有可能使气体通过, 因为齿轮箱中的气体压力不受限制, 如果齿轮箱内的气体压力大于泵腔内的压力, 有压力梯度存在就会出现齿轮箱内油蒸汽向泵腔内的扩散。因此对罗茨泵的结构设计要很好考虑, 将齿轮箱中的油池面上,进行减压预抽, 控制齿轮箱中的气体压力, 并通过唇形密封圈, 将油池与泵腔隔离。