涡旋干式真空泵相关技术和安全使用问答

2008-10-25 鬼马 真空技术网整理

Q：什么是涡旋干式真空泵？

A：不用油类或者液体密封的变容真空泵。

Q：涡旋干式真空泵的特点？

A：◇无油、无污染

◇低噪音、低振动

◇使用寿命长

◇空气冷却

◇配气镇阀、可抽可凝性气体

Q：涡旋干式真空泵的主要用途？

A：◇半导体制备设备与处理室抽真空泵；

◇用于液晶注入系统；

◇分子泵真空系统的前级泵；

◇真空密封泵；

◇冷泵前级；

◇用于科学和化学分析仪器；

◇真空发生器；

◇电子显微镜前级泵。

Q：涡旋干式真空泵的主要技术指标？

 
项    目
指   标
  型号 DVS-631(双侧涡旋型无油真空泵)
  抽气速率 525 L/min (8.75 L/s) 50Hz, 630 L/min (10 L/s) 60Hz.
  极限真空度 ≤1Pa(气镇阀关闭)，≤2.5Pa(气镇阀开启)
  噪音 ≤58dB(50Hz,), ≤60dB(60Hz,) (气镇阀关闭)
  电机 单相鼠笼式电机，全封闭风冷。单相 220V, 50Hz, 4芯, 600W
  最大连续进气压力 30,000Pa
  最大抽水蒸气能力 23克/小时
  电机 4芯，0.6千瓦
  电源 三相200V(±10%)
50/60Hz(±2Hz) ≥10A
 单相100/200V(±10%)
50/60Hz(±2Hz) ≥10A
 三相220V(±10%)
50Hz(±2Hz) ≥10A
  电机速度 1425 rpm（50 Hz）
1430 rpm（50 Hz）
  环境温度 1710 rpm（60 Hz）
1710 rpm（60 Hz）
  进气口直径 5～35 ℃
  排气口直径 NW40
  外型尺寸 NW25
  重量 41kg
44kg
  漏率 ≤6x10-2Pa L/S
  附件 计时器(零件号502365)和说明书