基于LabVIEW的气体微流量测量虚拟仪器的开发
2009-07-14 成永军 兰州物理研究所
引言
在机械泵技木采用中, 乙炔气微人用户水数据流量数据数据由乙炔气微人用户涡轮水数据流量数据数据计的检测。准确度的检测乙炔气微人用户水数据流量数据数据(或漏率) 兼备相当首要的用得着性。举例, 成了能保障宇宙太空飞船仓内的学习压力常年运作普通,须要对舱体参与检漏, 检漏时就要找寻到漏孔地位, 还有准确度的检测很小的漏率, 这相对常年在室内空间飛行的坐人宇宙太空飞船愈发首要; 运载火箭弹夜体能源是可燃、易爆、微毒的乙炔气或夜体, 很小的氯气泄露兼备太大的具有很大的风险性, 要对运载火箭弹夜体能源的加制冷剂的过程 和射出主阵地参与安全保障的检测; 在电子技艺轻工业中的半导体技艺电子器件、集成式电源线路、算起机IC芯片的分娩加工中,条件准确度掌控乙炔气微人用户水数据流量数据数据的进入, 以保障加工服务品质和服务功效的安稳。成了能做到这需求量, 研发的检测准确度和靠得住性较高、的检测范围内更宽、的检测表面正确性、半机械化层度高的乙炔气微人用户涡轮水数据流量数据数据计一概常用得着的。利于虚似软件检测分析仪器技木勾勒的乙炔气微人用户水数据流量数据数据的检测虚似软件检测分析仪器装置只是 成了能控制下列指标而参与的研究分析探求。1、实现气体微流量测量的虚拟仪器系统的建立
1.1、气体微流量的测量原理
混合气物微精准流量的的校正的工作原理是: 当混合气物流下来其变容室时, 伺服三相电机三相电机完成平思想构驱程发动机活塞式在油室清水平活动, 发动机活塞式活动会改善其在油室中的容积大小, 油缸油的容积大小是大多未变的, 那样波线管就遭到力的功能而有弯曲, 使内部的混合气物水压维持稳态, 混合气物在Tr 温(Tr基本取23℃) 下的精准流量的Q 完成校正变容阳台阳光房混合气物的水压p、温T 和容积大小影响率dV/d t 后由表达式(1) 计算出拥有。
Q= [- d(PV)/dt] (Tr/T) = - P (dV/dt) (Tr/T)= - PA (dl/dt) (Tr/T) (dP/dt= 0) (1)
1.2、虚拟仪器的硬件结构
必须坚持“升高精确预估精准度和一键化因素, 变大精确预估不制定度”的理论依据, 制定了了套以工业一键化机为重点的精确预估与调高系統, 选购了精准度较高的精确预估辅助APP, 同用多块资料提取卡把各精确预估辅助APP与调高器材联系起来在一并, 推动了资料一键提取和恒压一键调高功能键。网络设备综合型式就像文中1 图甲中。
采用3 个Pt100铂电阻温度传感器、3个ADAM3013热电阻变送模块及1块PCI21716多功能数据采集卡可实现对变容室、参考室及实验室温度同时进行采集。温度的测量范围为0~100℃, 精度为0.1℃。采用美国MKS 公司生产的一套差压式电容薄膜规(包括三个规头、一个控制单元M S274 和一个数据显示单元M KS670,MKS670 上有一个488 接口, 计算机通过IEEE488 数据采集卡进行量程和规头选择)、美国NI公司生产的IEEE488 数据采集卡实现气体压力的测量。压力的测量范围为0~1.01×105 Pa。
采用台弯凌华集团分娩的的运动操作卡PC I28132、系列台达系列伺服同步电机操作卡和地段上操作卡、平因素构(其主要比如并选择广州微主轴同步电机总厂分娩的70LC21 型开关磁阻同步电机式直流电扭距限速空气能热泵机组、机型为HES210242MD 脉冲信号商品代码器、梯形丝杆、Á5 的发动机活塞) 等调节对系列台达系列伺服同步电机主轴同步电机对其进行运行速度和地段上操作(系列台达系列伺服同步电机操作架构简图见图2)。梯形丝杆导程2 mm , 的精密度为0.001mm , 是位移量测的国家标准。













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