磁控阴极溅射靶，它既是一个真空镀膜机械零部件,同时也是一个电力电子元器件。从靶电源的使用角度出发，我们更加关注的是它的电气性能。本文按照不同类型将其分类。

1. 按机械结构分

　　磁控靶利用机械装备结构设计和靶材形状图片定义，主要有水平线(矩形框或一个圆形)磁控靶，同轴拄状磁控靶(分成360度扭动磁钢或360度扭动靶管相应“磁钢上下左右移动端“几个的方式)和环状椎型磁控靶(S枪)等几个。

2. 按平面靶材分

　　平米靶主要包括平米正方形磁控靶、平米圆型磁控靶和电弧焊接-磁控多用的复合型设备构造平米靶。

3. 按磁场分

　　(1)磁控靶按照磁感线养成方式方法的有所不同可分为永远吸铁石(爪极式)和电吸铁石(电磁能炉式)俩种。 　　(2)依照磁控靶在真空体腔体排顺分布图制作范围角度的各种不相同和磁极、磁链接线分布图制作范围实力的各种不相同，为和平磁控溅射和非和平磁控溅射三大类目(非和平磁控溅射可将等铝阴离子体映射到防患靶面处,从而提高怪型铝件外面膜层郊果和大绿地面积铝阴离子磨合郊果);多靶闭锁磁体非和平磁控溅射系统的可能拿到高的磨合浓度和较高郊果的保护膜。 　　(3)磁控溅射靶的非静态平衡人体电磁场不禁可凭借变动内和外开关磁阻电机体的大大小小和刚度刷快，也会由一组电滋振动器电阻产生了，或应用电滋振动器电阻与开关磁阻电机体混杂结构特征;也会在负极和基体相互内上升扣减的螺线管，来用作变动负极与基体相互内的人体电磁场，仅以此来掌控火成岩中的正阴阳离子和氧原子的百分比，超过最适宜成效。