GB/T 11164—1999 真空镀膜设备通用技术条件

Vacuum coating plant generic specification

       GB/T 11164—1999 真空镀膜设备通用技术条件标准是对GB/T 11164-1989《真空镀膜设备通用技术条件》进行修订而编制的。

       在內容上，对任何技巧依据展开了修改图片.如:B类渡膜等等机器抽气时期从越来的15,20 min改成为10min;提高了升压率依据;与此同时犹豫原规范的标准中C类渡膜等等机器我国已无加工厂加工.在这次规范的标准修改上C类软件撤消。        本准则自试行哪日起配用GB/T 11164-1989。

一、范围

       GB/T 11164—1999 真空镀膜设备通用技术条件标准规定了真空镀膜设备技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。

       本标准的适宜于心理压力在10-4- 10-3Pa区间的蒸发器类、溅射类、亚铁离子镀类真空环境汽车镀膜机器机器设备(下类统称机器机器设备)

二、引用标准

       下例规定的所包函的条文，确认在本规定的中饮用而制成为本规定的的条文。本规定的出版业时，表达板本均为行之有效，任何规定的都有被修编，运行本规定的的多方应浅论运行下例规定的新的板本的或许性。        GB 191-199 彩盒仓储示意图标签        GB/T 6070-1995 蒸空法兰部        GB/T 13384-1992 有限公司厂品纸盒包装专用技术水平标准        JB/T 7673-1995 真空环境设备应用制定方式

三、定义

       本细则用下列关于举例。        3.1 极限值气压        真空箱系统性通常运行时，变压器空载皮肤干燥的镀晶室随着安全的最底压强。院校:Pa,        3.2 抽气日期

       真空系统正常工作时，将空载干燥的镀膜室从大气压(10⁵Pa)抽到规定的压力所需要的时间。单位:min。

       3.3 升压率        将满载干燥的的玻璃镀一层薄薄的膜室连继抽气至安稳的保底心理压力后，截止期抽气，在玻璃镀一层薄薄的膜室内外主要是因为漏气或内部组织放气所发生的厂家时段的升压。厂家:Pa/h。        四、技艺需求        1 仪器正确工做环境        1.1 环境温差:10-30'C.        1.2 对应室内湿度:很小于75%。        1.3 待循环水漏电溫度:不低于25'C。        1.4 水水冷却质:省份干净的自来水或高质量相同的水。

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