不同锥角的电极结构下真空沿面放电等离子体的生成特性分析

2013-04-07 王浩 北京交通大学,电气工程学院

  本实验分别讨论了采用三种不同锥角的电极下真空沿面放电时等离子体的生成特性。采用朗缪尔探针法对真空内沿面放电产生的等离子体参数进行测量。图9 为实验过程中探针P1在探针偏压为5V 时测得的电子电流波形图。其中深红色线代表电子电流,紫色线代表真空沿面放电时的光照强度。不断改变探针电压,记录每一个探针电压下产生的电子电流波形的峰值,绘制V- I 特性曲线,并求得等离子体的参数如下表1 所示。

探针法实测的电子电流波形

图9 电极法测试数据的电子技术工作电流弧形   由表1 能否分辨出:率先,参比电极材料材料材料锥角越小,损坏功率电压越小,也只是说,锥角越小的参比电极材料材料材料越简易有沿面发出电。再者,锥角为60°的参比电极材料材料材料发出电时取得主发出电功率极大,测出的等铁阴阳离子体强度也极大;锥角为120°参比电极材料材料材料时主发出电功率不大,测出的等铁阴阳离子体强度也不大。   表1 六种各不相同锥角探针的等阴离子转换性能特点参数表

三种不同锥角电极的等离子生成特性参数

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  电极锥角对真空沿面放电等离子体生成特性的影响