真空泵的用途及使用的工业类型

2013-04-29 巴德纯 东北大学

真空泵的用途:

  1、主泵:在真空环境度度系統中,能够满足领取中需求的真空环境度度度的真空环境度度泵。   2、粗抽泵:从下垫面压已经開始,拉低模式的心理压力起到别的抽气模式已经開始岗位的蒸空泵。   3、前级泵:用于使另一个个泵的前级压为维系在其最高的批准的前级压为下例的重力作用泵。前级泵也能够作粗抽泵食用。   4、恢复泵:在蒸空机系统中选配一类存储容量较小的帮助前级泵,恢复主泵正常的作业或恢复已排空的储罐所需要之舒张压的蒸空泵。   5、粗(低)高压气泵:从十足压着手,变低场所负荷且工作任务在低高压气规模的高压气泵。   6、高机械泵泵:在高机械泵的范围做工作的机械泵泵。   7、非常高负压泵:在非常高负压时间范围内作业的负压泵。   8、增压泵:装在高抽进口真空室度泵和低抽进口真空室度泵区间内,用以提供抽气体统在上面学习压力区域内的抽气量或大大减少前级泵容积标准的抽进口真空室度泵(如机械制造增压泵和油增压泵等)。

各种真空泵适用的工艺类型:

  1、水环真空泵:适用于真空浓缩、真空脱水、真空脱色、真空干燥、真空保鲜、真空储藏、真空输送、真空成型等工艺。

  2、往复真空泵:适用于真空蒸馏、真空浓缩、真空浸渍、真空过滤、真空造型、真空干燥、钢液真空处理等工艺。往复真空泵与水环真空泵的使用工艺基本相同。但是,往复真空泵不能直接抽水蒸气,需要抽水蒸气时一定要配备冷阱,采用制冷压缩机系统冷却。

  3、油封机械真空泵(包括滑阀泵、旋片泵、定片泵):适用于真空蒸馏、真空干燥、真空浸渍、真空烧结、真空绝热、真空钎焊、真空镀膜、真空热处理等工艺。当前,油封机械真空泵作为直排大气的真空泵,使用的量大面广。

  4、罗茨真空泵(机械增压泵):适用于真空烧结、真空钎焊、真空浸渍、真空干燥、真空镀膜、真空输送、真空冶炼等工艺。决大多数罗茨泵都不能用于直排大气,需要配备旋片泵或滑阀泵作为前级泵使用。湿式罗茨泵可以直排大气,主要用于造纸工业。

  5、油增压泵:适代替于进口蒸空箱冶炼、进口蒸空箱烧结生产工艺、进口蒸空箱钎焊、进口蒸空箱热进行处理等生产工艺。它与机戒增压泵相相似,并不能直排下垫面,一定用旋片泵或滑阀泵等作为一个前级泵采用。

  6、油扩散泵:适用于真空镀膜、真空热处理、真空冶炼、真空提纯、真空分析仪器、真空检漏仪、生产电真空器件、宇宙空间模拟、加速器真空系统等工艺中使用。它适合于抽取高真空,本身不能直排大气,必须配备前级泵使用。

  7、干式真空泵(罗杆泵、涡旋泵、爪形泵):适用于无油清洁的真空工艺过程,例如半导体行业、电子行业、化工行业等各种工艺中,这几种泵都能直排大气。

  8、活性炭吸附泵:最适合于各方面类型真空泵环境网上电子元件、整合控制电路、概述器材设备、的表面器材设备、或各方面类型标准要求整洁无油版的真空泵环境程序中安全使用。

  9、钛泵(溅射离子泵、升华泵):适用于真空镀膜、电真空器件、大规模集成电路、表面物理、表面化学、热核物理、等离子体物理、超导技术等工作中。

  10、分子泵:适用于真空镀膜、集成电路、表面物理、表面化学、等离子体物理、光学仪器、热核反应、宇航技术等工作中。

  11、水喷射式泵:比较合适于真空系统体度倒料、真空系统体度卸料、化工品、色织布、制药企业、油柒、油垢污渍、制浆、烧碱、制糖、食品类、制砖、真空系统体度除氧等工業方面。

  12、水蒸气喷射泵:适合于真空冶炼、真空脱气、真空蒸发、真空干燥、真空回潮等工业领域。

  13、低温泵:适合于真空镀膜、表面物理、超导技术、宇航技术等领域中。