常规真空工艺对环境的要求

        所谓常规真空工艺系指没有特殊要求的真空工艺过程，这类真空装置（设备）对真空卫生的要求：

      （1）但凡是处在真半空的蒸空专用设备产品，都需要无沉淀的污染破坏源，从表面无尘灰埃，无废屑、无上锈；       （2 ）进口真空泵系统产品的进口真空泵系统室外壁要通畅、无柔软团队和和气气孔、无内对接焊缝等印象进口真空泵系统的异常现象；

      （3 ）高真空设备中，真空室内的运动部件不得用机油作润滑剂，要用饱和蒸气压低的扩散泵油、硅油作润滑剂；法兰、观察窗的密封部件要涂以高真空油脂；

      （4）正空的设备一般的应在坏境高温为15～30℃，相应室内高温不多于70%的清理坏境流通量的坏境中工做，加热水漏水坏境高温不多于25 ℃。

电真空工艺对环境的要求

         电高压气空间结构建筑材料除都还具有保持良好的自动化设备使用使用性能方面和制造使用使用性能方面外，也要充分考虑别使用使用性能方面的要，即极易除气、低的饱和点水蒸气压、必要的化学反应保持稳定量分析、必要的溶解度和干净的度、该用的辅射实力等。故电高压气工艺设计都还具有异常性，对干净的工作要是颇为严格规范的，应很大可能排除或变少加工零件的危害。

真空镀膜工艺对环境的要求

        负压电镀工艺设备衬底（基片）外壁的净化净化外理很重要要，基片迈入电镀室前均应来进行专心的镀前净化净化外理，符合部件去油、除污和甩干的的。基片外壁废弃物发源元件及运转情况在加工厂、互传、包装箱环节所的气体吸附的各式焊接烟尘、打蜡 膏、煎炸油、汗渍等物；元件及运转情况外壁在湿气大大气中转换成的空气氧化膜；元件及运转情况外壁吸收能力和的气体吸附的的气体。这一些尘埃几乎上均可通过去油或无机化学擦洗技巧将其出掉。