半导体工业在硅片加工过程中，必须使用真空泵。真空泵油通常有两种： 碳氢化合物油(Hydrocarbon)与全氟聚醚油(PFPE)。

       碳氢氧化物油较易烧燃，电化学成分不稳定的，轻松光降解，随着润滑情况稳定性轻松降底，故而致使蒸空系统室泵诞生洛天依。尤其是因高频地撤换蒸空系统室泵油，包含停止设备运转维修服务用时的增大，而应响研发热效率。另一多的方面，碳氢氧化物油的可燃性也致使很安全风险源，高频撤换蒸空系统室泵油，会出现海量的废渣物，相对环境保护多的方面实属常不良影响的。虽然，多数多的方面均会致使加载成本价的飙升。        全氟聚醚油(PFPE) 原子核链饱合，不包括氢成分，催化耐热性专门的安全，抗强氧化物剂，与氧混溶，不能够燃，耐强酸性、碱性等催化东西，常温耐热性的安全，并具备过低的挥发带宽和优异的保养耐热性。不止的安全， 且使用的壽命长。         半导体集成电路芯片工业制做在集成电路芯片精制作加工方式中须得采用那些层次性的气物与那些具备有毒副作用的强氧化的剂，以求符合要求在生产技术精制作加工方式中拥有诸多性采用的机械泵泵具备有非常的优越性的习惯性，PFPE由于市场大的运行性而得见拥有诸多性采用。十分在消失失火或我们的凶险风险点等因素是运行性匠心。世界级知名的的机械泵泵制做商， 如莱宝() 爱德华()均采用PFPE 油算作其机械泵泵的有机溶剂，以保证质量其机械泵设施在层次性生态环境中马上提高品质的运行性。         所以说，PFPE 是半导体芯片芯片行业机械泵泵油的最优选，还可以是完全需求半导体芯片芯片行业中稳定性、安全可靠性性以其的环保等标准要求。        美式杜邦装修集团公司KRYTOXb一类型物品较早的新产品的开发是起原于核生产加工业策划书，造问阿波罗登月策划书的导航地图系統用的加脂剂，并首获成功失败。那么应全生活半导体行业生产加工业的的需求，杜邦装修集团公司KRYTOXbVPF 一类型物品获得几乎其它注意抽水环真空泵生产加工商如LeyBold,Edwards，Ebara 等的认为，均按照或超过了几乎其它注意泵生产加工商密切相关口感抵押担保的的要求。杜邦KRYTOXb具体实施特性方式：         ◆ 物理化学上增强性：KRYTOXbVPF 物理化学上耐耐耐腐蚀性至关增强，耐强酸强空气氧化发生反应,其中包括很大的路易氏酸，耐强空气氧化发生反应。耐耐耐腐蚀性至关增强， 与接觸的一些珍禽空气如氟气，SiH4 等，强耐耐腐蚀性类物质，强空气氧化发生反应，重置剂等均不引发发生反应；         ◆ 不丙烷自燃性：KRYTOXb氧分子空间结构中没含氢设计，耐氧化物，并不会丙烷自燃， 无闪点，无引燃，可规避每大火的危险点，达到了半导体器件服务行业人身安全可靠性的规范；         ◆ 热固确定：很低的蒸发掉率和化学降解率，可防范其他农药残留物的建成而关系半导体材料工业企业中反應室的纯钻戒颜色及高高压气度的稳定；         ◆ 优秀的滑润的功效：十分在特别宽的方法高温区间，在高电流，高压低压强的条件下，KRYTOXb均享有正常的滑润的功效，就能够缩短磨耗，十分针对于真空室泵及缩短机等专用设备保持不错的运转功效一系列相当为重要；         ◆ 107硅橡胶粘度和水蒸气指標安全稳定: 可能保持着非常低的逆流率，以此可能快速地切实保障软件系统的高进口真空度。         上述讲到提出的，杜邦全氟聚醚设备-KRYTOXb VPF重力作用泵油仍然要能无法半导体技术IC芯片化工业的标准要求，尤其要是对应半导体技术IC芯片IC芯片加工工艺阶段中如刻蚀剂和奠定阶段里面遭遇的层次性气休，强腐化性电学成分，均能切实保障其进行操作的安全性高与信得过。

        注：本文系委托发布的产品软文。具体产品信息请致电杜邦公司。