分子增压泵的极限压强、返油率及抽速测试

2008-11-16 蒙峻 中国科学院近代物理研究所

      分子增压泵极限压强测试罩按照标准尺寸设计, 用304不锈钢焊接而成, 直径为200 mm, 高为300 mm。测试室经超高真空清洗后, 放入高真空除气炉中950°C 除气1 h , 使材料内部H2含量降低2个数量级以上, 从而有效地减小测试系统的本底气载。测试罩直接与分子增压( MBP200) 相连, 前级泵采用LEYBOLD 公司TRIVAC 30C 直联式旋片泵, 抽速为8 L/s , 与分子增压泵之间用隔膜阀连接。真空度测量采用IM520 真空计, 配用IE514 分离规( 测量范围2×10- 10~1×10- 2 Pa )。分压力测量装置采用德国PFEIFFER 公司生产的QMA200 四极质谱计( 最小可检分压为10- 12 Pa) 。测量元件安装在1/2D,即距离下法兰100 mm 的位置。

     用标准极限压强测试罩( 图1 ) 对DN200( MBP , 名义抽速800 L/s ) 的分子增压泵进行测试。烘烤系统由均匀包裹在真空测试室的整体式烘烤套和计算机控制烘烤装置组成。以0 . 5℃ /min 的速率将测试罩升温到150 ℃ , 保温24 h 。以停止烘烤24 h 后测得的真空度作为系统极限真空度, 得到P = 5 ×10- 6 Pa 。

分子增压泵极限压强测试罩 

1. 分子/ 增压泵( MBP 200) 2.IE514 分离规3. 极限压强测试罩4.QMA200 四极质谱5. 隔断阀6. 二极旋片直联机械泵( 8 L/s)

图1 氧分子增压泵超凡压强软件测试系统化

残气分析质谱扫描图 

图2 是平台烘烤后的稳定度废气阐述检测谱图。

从谱图中可以看到, 质量数40 以后的峰在10- 11 A 的离子流范围内几乎看不到, 说明系统很干净, 没有大质量数的油蒸气污染。

分子增压泵抽速测试采用滴管流量计法如图3进行测试, 压力范围从100 Pa 到10- 2 Pa。

滴管流量计法测抽速 

1. 分子/ 增压泵( MBP 200) 2. 冷阴极电离规3. 抽速测试罩4. 滴管式流量计5. 微调送气阀6. 隔断阀7. 皮拉尼规8. 二极旋片直联机械泵( 8 L/s) 9. 阀门

图3 滴管热度计法抽速检验测试举手图        主要测量方法工作步骤是: 打开文档止回阀9, 的调节针阀5使检查仪气休进检查仪罩中, 待检查仪罩内学习负荷不稳后, 由进口真空计读出该学习负荷值一般选择P, 第三关了止回阀,直接由秒表读出反置在油杯内的滴管上油柱提高高速h 和要求要用时t , 由公试

S= Kh/pt

       求得有差异 的压力下的泵抽速( 式中K 为滴管常数) 。图4 为测是的N2 和He 的抽速的身材曲线。在泵口压强少于1 Pa 时, N2的抽速约为氦气抽速的1.4 倍; 而泵口压强从1 Pa 到10 Pa 区间内时, 三种钢材的抽速之差随泵口压强的加强而缩减。10 Pa 以内三种固体的抽速近乎一样 。以内试验的是团伙增压泵做运作的速度在400 Hz 的之时, 对有差异 固体的抽速。而团伙增压泵做运作的速度可不可以使用为400 Hz、300 Hz、250 Hz。咱们对团伙增压泵在有差异 做运作的速度下对室内空气的抽速做好了试验。

分子增压泵抽速曲线 

图5 为测试结果,

自己应该看清楚时间推移本职工作帧率的降底, 抽速也跟着降低了大约。400 Hz 的极大抽速为800 L/s, 300 Hz 的极大抽速为700 L/s, 250 Hz 的极大抽速为400 L/s。 "新型分子增压泵的性能测试"文献PDF下载