新一代分子增压泵—深冷水气泵组合抽气机組
最近，我们采用4台抽速1,000L/s的分子增压泵+1台0.4m2 深冷水汽泵组成高真空抽气机組，成功取代了为Φ1600×1900大型蒸发镀膜设备配套的2台K-800扩散泵和1台ZJ-1200罗茨泵抽气机組，取得了下列优异成果：
■ 抽气能耗：2.5 度/炉，比原设备节省80%，年节电30~40万度/台，相当于每台设备减排CO2200~300吨/年。
■ 镀晶的周期（粗抽时候一样）：12分，与原生产设备一样。 ■ 抽真空服务质量：显眼不同于原生产设备。 ■ 汽车镀膜设备的质：依赖于原机设备的的质，减少了膜层光色变黄迹象。 ■ 机械环保设备相应费用：比双扩撒转移泵冷水汽轮发电机可以5 万元左右；比单扩撒转移泵冷水汽轮发电机曾加1叁万元左右，6个月左右可以的煤气费可注销曾加的机械环保设备费。 本项技艺原理上还可不可以用以沒有门头高真空体设备，2台K-800对外蔓延作用泵的抽速总计已以上当今很大的KT-1000油对外蔓延作用泵。于是，本项成果展已是因为：门头对外蔓延作用泵+罗茨泵发电机进入文化舞台背景的时候以经多远了。一、大型蒸发镀膜目前存在的问题
1．油蒸汽污染
小型蒸发器表层的玻璃镀膜机器水比热容大，气休负载货，如今都采用了小型扩撒泵、罗茨泵和滑阀泵冷水机组抽气，来源于油空气压缩废弃物重要，膜层融入力差，外面色彩枯旧，表层的玻璃镀膜服务质理低等瑕疵。 油水蒸气废弃物的主要来源：■ 蒸发镀膜低真空采用滑阀泵，或旋片泵抽气，这二种泵的本底油蒸汽压为10-1Pa。
■ 中真空区段通常采用罗茨泵抽气。罗茨泵的最大压缩比不超过50，而且与气体种类几乎无关，因此，该泵只能将滑阀泵的油蒸汽污染降低1 个数量级。加上该泵采用有油轴承，轴承与镀膜室之间存在直通通道，因此，本身也是一个污染源，本底油蒸汽压为10-2~10-3Pa量级，其污染不能忽略。
■ 以油蒸汽为工作质的扩散泵是污染的主要源头。扩散泵高阀处存在大量液态泵油，镀膜室抽气口常见的褐色、粘稠状物质就是明证。扩散泵的油蒸汽本底在10-4~10-6Pa，该油蒸汽压看起来很低，但造成的污染很难清除，加上分子量大，对镀膜产生的不利影响以一抵十，是真空镀膜的头号大敌。镀膜设备使用一段时间后，抽气时间变长也是油蒸汽污染的直接结果。
2．能耗高
巨型减压蒸馏表层的电镀机器的抽气耗能很高。Φ1600×1900 巨型减压蒸馏表层的电镀机器实用的硬件显卡配置预期犹如下四种：单分散泵超临界锅炉和双分散泵超临界锅炉。四种机器的预期硬件显卡配置、标称抽气耗能和预期抽气耗能如表1所显示。 表1 Φ1600×1900多效蒸发镀一层薄薄的膜机械设备的真空系统泵配制、标称抽气用电量和实际效果抽气用电量
3．活性气体分压强高
除了油蒸汽之外，活性气体是影响镀膜质量的最重要的因数。蒸发镀膜设备频繁暴露大气，镀膜室会吸附大量可凝性气体（H2O 为主）。实测结果表明，蒸发镀膜的精抽本底中，H2O占总气体总量的80~90%。
从而，蒸发器玻璃镀膜设备的版本升级换代，需要处理这些五大问题。 历这些年以来来，区域挥发镀膜等等主设备刚开始适用深冷水雾泵（-120℃）与粘附泵一并事情（如粤西形国家是比较畅销的双粘附泵工作机组），抽气時间比较突出减少，油蒸汽式危害还有所大幅度降低（没办法减少），但能效和管理费却进两步增多，往往，没办法在大空间内宣传用。二、升级换代的新路—分子增压泵+深冷水汽泵
最近，深圳大学的原创性科技成果“分子增压泵”实现了产业化，该泵的结构和性能分别如图1、2所示，具有结构简单，转子全部由平圆盘构成，兼有中、高真空泵双重性能，而且能耗低，抽速1,000L/s的MB200D分子增压泵能耗0.25kW，仅为同抽速罗茨泵的15%，扩散泵的20%，分子泵的60%，还能获得十分清洁的中、高真空。此外，该泵转子全部由平圆盘构成，消除了分子泵易发生打片损坏的一大缺陷。
近年来，深冷水汽泵（POLYCOLD，-120℃）开始获得推广应用，该泵能耗低、无油蒸汽污染、对水蒸汽的抽速高达20,000~200,000L/s。目前，我国已有多家厂商生产深冷水气泵(阱)，部分产品质量已接近进口水平，售价不到进口产品的50%。我们采用的是上海協元低温真空设备有限公司生产的制冷面积为0.4M2的深冷水气泵，深冷温度低于－130℃。
以上的不同新形的抽气极品装备，为攻占专业多效蒸发汽车镀膜设配的三个关键问题供应了新的门道：
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