有机光电器件ITO阳极表面改性及其时效性研究
利用rf射频氧等铁离子体(RFOP)工作对(ITO)透气膜外表皮做好热塑性树脂, 使用氧原子力光学显微镜、X放射性元素微电子子能谱、X放射性元素衍射仪和碰触角仪等考试定量分析, 钻研了热塑性树脂对ITO外表皮材质的反应。检测结杲体现了, RFOP工作系统网站优化了ITO外表皮的催化成分, 提生了ITO外表皮的平整光滑度, 缓解了ITO外表皮的力学催化材质。其余, 使用碰触角数据监测和外表皮能计算方式, 钻研了ITO外表皮RFOP热塑性树脂的追诉及时性, 结杲查证, ITO外表皮系统网站优化后的力学催化材质随储藏事件增强而正在逐步衰退。其余, 利用热塑性树脂后不一储藏事件的ITO衬底当做阳极, 分离纯化了设计带光集成电路芯片, 使用测量方法微电子因素, 进1步钻研了ITO外表皮材质对集成电路芯片耐热性的反应。
氧化铟锡( indiumtin oxide, ITO) 作为一种重要的透明导电氧化物半导体材料, 它不仅具有稳定的化学性质, 而且具有优良的导电性能和光透射率, 因此被广泛应用于平板显示器件、太阳能电池、激光器
和传感器等有机光电器件之中 。对于有机太阳能电池( organic solar cells, OSC) 和有机发光器件( organic light emitting device, OLED) , 它们的典型结构为三明治型的夹心结构, 即一层或多层有机功能层被夹在上下两个电极之间, 其中阴极常常选用低功函的金属材料, 而阳极则大多采用透明的ITO 导电玻璃。由于这类器件的光电性能在很大程度上受到ITO 阳极表面性质的影响, 因此, 商用ITO 导电玻璃用于制作OSC 或OLED 器件之前, 通常需要采用适当的方法对ITO 薄膜表面进行处理, 通过优化其表面性质来提高器件的光电性能。迄今为止,用于ITO 表面改性的方法可以分为干法处理和湿法处理两种类型, 其中, 干法处理通常采用各种电离气体等离子体( 如Ar, N2, H2, SF6 等) 对ITO 表面进行溅射清洗, 来去除其表面污染, 改善其表面形态; 而湿法处理则通过不同的有机溶剂在ITO 表面键合新的基团, 以达到对其表面进行改性的目的。















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