蒸馏源是用加熱膜材使之液化蒸馏的传动装置。如今所用到的的蒸馏源常见有电容加熱、电子无线束加熱、感觉加熱、电弧焊接加熱和智能机械加熱等三种表现形式。

　　电阻加热式蒸发源：电阻式蒸发源简单、经济、可靠，可以做成不同的容量、形状并具有不同的电特性。

　　电子枪加热蒸发源：有时很多材料不能用电阻加热的形式蒸发，例如常用于可见光和近红外光学器件镀膜的绝缘材料。在这种情况下，必须采用电子束加热方式。电 子束加热所用的电子枪有多种类型可供选择。多坩埚电子枪可采用一个源对多种材料进行蒸发，这种枪在镀制多层膜且膜层较薄的工艺中应用效果很好。当需要每种 镀膜材料用量较大，或每个源都需要占用不同的位置时，可以选用单坩埚电子枪。电子枪所用电源的大小更多地取决于蒸发材料的导热性，而不是其蒸发温度。电源 功率一般在4-10KW之间，对于大多数的绝缘材料，4KW就足够了，而如果想达到很高的沉积速率，或在一个很大的真空室内对导热材料进行蒸发时，则需要 10KW以上的更大功率的电源

　　电子束加热原理：电子束加热蒸发源是利用热阴极发射电子在电场作用下成为高能量密度的电子束直接轰击至镀料上。电子束的动能转化为热能，使镀料加热汽化，完成蒸发镀膜。

　　感应加热式蒸发源：利用高频电磁场感应加热膜材使其汽化蒸发的装置称为感应加热式蒸发源

　　红外感应加快热式减压蒸馏源具备以下特别： 　　1)多效化掉传输加速度大。在倒丝机蒸汽车镀膜中，当基性岩铝膜它的厚度为40nm时，倒丝机加速度电动车续航270m/min,比功率电阻加快热式多效化掉源高10倍差不多。 　　2)化掉源湿度不均平衡，不宜诞生了液滴溅出的现象。可解决液滴岩浆岩在贴膜上诞生了针孔异常现象，提生膜层质量管理。 　　3)减压蒸馏源以此装料，必须送丝组织机构，的温度抑制很方便，运作比较简单。 　　4)对膜材色度规范略宽此，如寻常高压气感受到加即即热式减压蒸馏掉源用99.9%色度的铝即刻，而功率电阻加即即热式减压蒸馏掉源规范铝的色度为99.39%，因膜材的产生资金也可降底。 　　5)坩埚温度因素较低，坩埚的原材料对膜导生态破坏较少。

　　激光加热式蒸发源：激光束加热蒸发的原理是利用激光源发射的光子束的光能作为加热膜材的热源，使膜材吸热汽化蒸发，激光加热蒸发技术是真空蒸发镀膜工艺中的一项新技术。

　　弧光蓄电池放电焊接进行微波加热挥发源：弧光蓄电池放电焊接进行微波加热挥发源是在高真空箱下采用两导电资料制作而成的参比电极片期间制造弧光蓄电池放电焊接蓄电池放电，利于弧光蓄电池放电焊接高溫使参比电极片资料挥发。 　　弧光源的手段有沟通弧光释充充放电能、交流焊弧焊接光释充充放电能和智能轰击弧光释充充放电能等手段。 　　电孤供暖减压蒸馏的特征是既可防止出现电阻器供暖法中长期存在的供暖丝、坩埚与减压蒸馏的材料形成反响和环保的问题的问题，还应该减压蒸馏高融点的难熔的材料。 　　脉冲电加热蒸发掉的优缺点是脉冲蓄电池放电会溅落出纳米级的靶探针涂料颗粒，对膜层非常不利。