摘　要：选取磁滤过整流脉冲阳离子镀法在有所不一样的CH四分压下制取了系类的TiC胶片,利用XRD和EDX分析方法了胶片的相机构和微机构,用MCMS-1滑动静静摩擦力变形各种综合测试仪,深入分析了有所不一样CH四分压对胶片滑动静静摩擦力能力的的影向,选取DURAMIN-10型芬兰自动定位化显微光洁度仪,深入分析有所不一样CH四分压对胶片光洁度的的影向.后果认为,有所不一样CH四分压对胶片的相机构、微机构和热学能力均有比较突出的的影向,高的CH四分压下,胶片的滑动静静摩擦力常数较低,CH四分压延长到0.15 Pa范围,胶片内造成晶粒度猫瘟的单相电TiC,进一部延长CH四分压,胶片显现非晶态. 　　关键点词：TiC透气膜;脉宽正空脉冲阴离子镀;微结构设计;力学结构耐腐蚀性 　　细分号：O484.4　参考文献标牌码：A 　　散文序号：1672-7126(2008)增刊-056-04 Growth and Mechanical Properties of TiC Coatings Shao Xiao　 Zhu Chang　 Liang Haifeng