1、实验

　　实验使用东方盖德公司生产的缠绕式直流磁控溅射设备进行磁控溅射薄膜沉积的研究，基材为普通的36μm的PET薄膜，所用阴极靶为高纯Al靶(纯度为99. 999% )。溅射工作气体为纯度为99. 99%的氩气(Ar)，反应气体为纯度为99. 99%的氧气(O₂)，真空室本底真空度为10^-3 Pa，工作气压为10^-1Pa。氩气离子化提供轰击靶材的离子，氧气提供氧化反应的分子(原子)。

　　在实验过程中，基材－靶的距离固定在10cm，本底气压抽至7.0×10^－3Pa，溅射前对靶先进行10分钟的预溅射，以便清除靶表面残留的氧化物和污染物。

　　基基础体温度测式用特意设定的热电阻装备采取校正；外外面形貌运行SEM采取观察了解；外外面因素运行XPS采取了解。透氧测式运行意大利Mocon平台工作的2－21MH型透氧仪。

2、结果和分析

2.1、负偏压对基体温度的影响

    　在磁控溅打中，犹豫电磁波功能，等阳铝阴阳亚铁离子体区被激烈地拘束在靶面左右每次大约60 mm的部位内，被溅喷出的靶材塑料再生颗粒若可以直接性岩浆岩到基表浅面，其流速较小，塑料再生颗粒人体脂肪较低，膜－基融入标准能力较弱，且低人体脂肪的岩浆岩分子在基表浅面转迁率低，易制成多孔粗燥的柱形成分pe膜。最可以直接性的搞定情况报告是给基体增加压力相应的负偏压。当基体被增加压力负偏压时,等阳铝阴阳亚铁离子体中的阳铝阴阳亚铁离子将面临负偏电容式场的功能而加速器飞向基体。去往基表浅面时,阳铝阴阳亚铁离子轰击基体,并将从交变电场中刷出的人体脂肪交换给基体，发生基体温表度身高，但是要选购适度的负偏压，而且风冷保压辊。当负偏压以做到200V时，基体的高温就已以做到了85℃，要是高温再身高，PET则会发生倾斜，渡膜不平均，融入标准降低，使隔绝性更差。试验时.我稳固应用30V的负偏压。

2.2、负偏压对薄膜表面形貌的影响

　　为了能多方位考察负偏压对贴膜面上形貌的反应情況，先是探究了负偏压前前后后的PET基体的形貌，进而探究了所沉淀积累的Al2O3贴膜的面上形貌，。最终信息显示经负偏压处里后的PET基体面上显然比还未负偏压处里的PET基体面上洁净间，感染物大体彻底清除。有点溅射沉淀积累后Al2O3贴膜发现了，负偏压后的沉淀积累贴膜比还未负偏压处里沉淀积累贴膜面上匀整洁，玻璃镀膜厚的则生長不匀、面上有显然波浪纹，还颗粒状离开的征兆，得出结论还未负偏压处里沉淀积累的Al2O3贴膜与基体联系性好，说清楚负偏压处里对磁控溅射贴膜的工艺是必不得少的。

2.3、负偏压对薄膜表面成分的影响

　　XPS定量分析表明扣除 C的污染 ,薄膜的成分与 Al₂O₃ 的标准成分基本是一致的，Al 和 O 的原子比为 1199：310。可以看出：薄膜中Al2p和O1sX光电子峰呈单一的化合状态，其结合能分别为 7512eV 和53015eV，与XPS标准手册中Al2O3 的结合能基本一致。而且我们发现：薄膜的成分在较大的负偏压时保持稳定。

2.4、负偏压对薄膜阻隔性的影响

　　透射对溅射实现的氧化反应铝溥膜的透氧测量证明：加有效的负偏压重要于上升阻隔起来性，约达上升10％差不多。

3、结论

　　适当的负偏压影响磁控溅射Al₂O₃薄膜的性能，有利于获得高阻隔性的包装材料。