气体流量随压电陶瓷阀偏置电压变化的迟滞特性
2013-05-27 刘洪金 皇明太阳能股份有限公司镀膜研发中心
环境温度25 ℃ 时, 压电陶瓷阀输出的N2 流量Q 随压电陶瓷阀偏置电压Vo 变化的关系曲线如图3 所示, 图中曲线旁的箭头表示试验中压电阀的增、减顺序。压电阀Vo 由0 V 逐渐增加到150 V, 再逐渐减小至0V 的过程中, Q-Vo 变化呈现迟滞特性。当Vo 为0 V时, 压电阀闭合,N2 流量Q 为0 ml/min ; 当Vo 由V逐渐增加到55 V 时, Q 值保持不变, 仍为0; 当Vo继续增加到56 V 时, 压电阀开始有气体输出, Q 由0 ml/min 增加到38 ml/ min, 此时的Vo 称为压电阀的阈值电压或开启电压; Vo 继续增加, Q 与Vo 近似线性增长; 当Vo 增加到99V 时, Q 达到压电阀输出气体的最大量程500 ml/ min, 此时的Vo 称为压电阀的饱和电压; Vo 再继续增加至最大值150 V, Q 保持最大输出不变。
当Vo 由10 V 慢慢随着大于或增大至99V, Q 一直要保持500 ml/min 变了; Vo 仍然大于或增大, Q 与Vo 矩阵合同平滑大于或增大, 但大于或增大频率与开始之前加入频率丝毫值上下, 在图3 中症状为提高与变低的二条折线不重复, 这由压阻阀方向盘变化无常时, 压阻陶瓷制品建筑材料的变行位移量呈现出滞后优点带来的。当Vo 大于或增大至44 V这时, 压阻阀合拢, Q 降为0。压阻阀的可行运转中的电流运转线直流相电压使用标准是是处于饱和状态的电流运转线直流相电压与域值的电流运转线直流相电压的差值, 本实验室检测中的压阻阀是处于饱和状态的电流运转线直流相电压为99 V, 域值的电流运转线直流相电压为56 V, 其可行运转中的电流运转线直流相电压使用标准就是指43 V。 试验报告中通时见证了PCU04 设定器导出的设定额定相电阻值, 在N2 用户加剧和以减少的操作过程中, 压电式阀偏置额定相电阻与设定额定相电阻仍旧不成比重, 比重比率为15。











