1、靶材面积与承载功率范围

　　(1) 圆形平面磁控靶功率密度范围一般为1~25瓦/cm²。

　　(2)矩形平面磁控靶功率密度范围一般为1~36瓦/cm²。

　　(3)柱状磁控靶、锥形平面磁控靶(S枪)功率密度范围一般为40~50瓦/cm²。

2、磁控靶实际承载功率

　　磁控靶的具体情况的承受力输出现在与溅射施工工艺、聚酰亚胺膜的安全性能让等质数有关于外，其主要与靶的热管散热性能境况和热管散热性能要求密切联系相关。磁控靶按其热管散热性能热管散热性能行为的不同的，分为“靶材就直接水热管散热性能”和“靶材间接性水热管散热性能”两大类。 　　选择到溅射靶长久食用衰老后，其热管排热因素不好;兼得各类不一样靶材在材质的热管排热指数公式的不一样，磁控靶的以后食用时的负载耗油率，进行散热式却靶预期的负载较大耗油率可按略不低于耗油率导热系数比率的已达选着;间接的散热式却靶的预期负载较大耗油率可按耗油率导热系数比率已达值的二分之六左古选着。

　　磁控靶材(主要是Cu，Ag，黄铜(Brass)和Al青铜(Al bronze) “自溅射”时，一般是选用经过专门设计“靶材直接水冷却”的磁控溅射靶。其最终使用时的承载功率，均需大于靶功率密度范围的上限值(即>100W/cm²以上)。