氦质谱检漏仪是可根据质谱学工作机理，用氦气作探索性空气制作的气密性性检则设备.其质谱工作机理图甲所显示。

氦质谱检漏仪的质谱学方式 　　灯丝发射点起来的网络在电离地下室多次的谐振，与电离地下室混合气体和经被检件漏孔步入电离室的氦气之间碰撞试验使其电离成正阳化合物，他们阳化合物在速度电场线用处下步入电磁场，会因为洛伦兹力用处会产生偏转，生成圆圆弧单轨，单轨表面积 　　式中R ——离于偏转路轨倾斜角(cm) 　　B ——磁体抗压强度(T) 　　——铁离子的质(量)/(电)荷比(正整数) 　　U ——阴阳离子迅速电流电压(V) 　　由上式可以知道，当R、B为定值时，更改快速额定电压有利于有所差异产品的化合物能够电磁波和推送缝走到推送极而被检验。