为了在光学加工中快速、可靠地装夹光学元件，设计了真空夹具，对该真空夹具引起光学元件变形量进行了分析。首先，根据光学加工对夹具的要求，应用手动静压快速夹头以及传统真空吸盘结构，设计了真空夹具；接着，对真空夹具引起光学元件变形量进行了仿真分析，并根据分析结果改进了真空夹具结构；最后，针对改进后的真空夹具进行了仿真验证。仿真结果表明：有防护层的真空夹具引起光学元件表面最大变形量在0.1 μm~0.32 μm 之间，是没有防护层的真空夹具引起光学元件表面最大变形量的1/14。该种真空夹具可以应用于高精度光学加工中。

　　高压气夹持技木无破坏、耐用、便利的优点使其为夹持表层光洁铝件的利润最大化采用。不断地各种名种高压气组合卡具设计的的开发，高压气夹持技木比较该业内适用软件于产生线铝件运输、机气人添加铝件、碳素钢管零件处理的机处理等该业内。更是要格外重视在高精密度较机处理该业内，高压气组合卡具设计为高精密度较数控工作中心的带天窗。在光纤激光切割机的仪器薄膜仪器反应教育领域，高压气组合卡具设计也能够取到了比较大量的适用软件，如镀膜等等高压气组合卡具设计等。在光纤激光切割机的仪器薄膜仪器反应处理操作过程中，应该如何装夹光纤激光切割机的仪器薄膜仪器反应构件对光纤激光切割机的仪器薄膜仪器反应处理精密度较有进行作用。在光纤激光切割机的仪器薄膜仪器反应处理中，光纤激光切割机的仪器薄膜仪器反应构件装夹习惯包括有胶水粘法、三爪夹紧法和高压气物理吸附性法等。近几近些年来，高压气物理吸附性装夹技木在光纤激光切割机的仪器薄膜仪器反应处理中能够取到越低越低的适用软件。

1、传统装夹方式

　　胶水粘法是选择胶水粘的措施将电子光电技术电子器件紧固在工作中面板。胶水粘法中，粘胶甚至解胶方法繁琐，而且电子光电技术电子器件核心线与数控生产制造中心齿轮同心同德更改难题。所有胶水粘法应用领域较少，通常应用领域在实验英文室工作环境。三爪装夹是用三爪维持或者是紧固电子光电技术电子器件。三爪装夹对电子光电技术电子器件是3点维持，必将对电子光电技术电子器件容易构成不正确称弯曲弯曲出现磨损，才能对电子光电技术电子器件的以后生产制造控制精度容易构成未能避免的危害[8]。右图1 提示，在三夹紧点释放4.5 N 的夹紧力，电子光电技术电子器件外层上三夹紧点周边弯曲弯曲出现磨损量大，多种位子弯曲弯曲出现磨损量小。电子光电技术电子器件外层上最高弯曲弯曲出现磨损为0.11 μm。

图1 三爪装夹受到的光学零件零件和变形 　　三爪装夹共性底边为非水平线的电子光学仪器开关元件的装夹开始变得困苦，所需非常复杂工装设计，那么，三爪装夹其主要适用于大公称直径水平线镜的电子光学仪器制作中，现在越来越被蒸空吸收装夹途径代换。

结论

　　本文设计了能应用于光学加工的真空夹具，对真空夹具所需的真空度进行了校核，并对该真空夹具引起光学元件变形量大小进行了分析。分析结果表明，有防护层的真空夹具，在真空度为0.24 bar～0.75 bar 时，对应引起的光学元件表面最大变形量为0.1 μm～0.32 μm，是没有防护层的真空夹具引起光学元件表面变形量的约1/14。该种真空夹具可以应用于高精度光学加工中。

参考文献

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