JB/T 10771-2007 真空技术 复合分子泵

Vacuum technology-Hybrid molecular pumps

复合分子泵（Hybrid molecular pumps）是一种分子泵，其特征在于泵的进气口侧有一级，或者一级以上的涡轮分子泵抽气单元，泵的排气口侧有一级或者一级以上的牵引分子泵抽气单元，两种抽气单元串联抽气，组成一种有别于传统涡轮分子泵和牵引分子泵的新颖分子泵。

本标准规定了复合分子泵的型式和基本参数，技术要求，测试方法，检验规则，标志、包装、运输和贮存等。

本标准适用于具有前级泵、变频电源的复合分子泵(以下简称泵)。

起草单位：深圳大学

 归口单位：全国真空技术标准化技术委员会  

发布部门：国家发展和改革委员会

发布日期：2007-8-28  

实施日期：2008-2-1 

 出版单位：机械工业出版社