微型离子泵抽速特性测试装置

2013-03-21 王金锁 上海维太真空技术有限公司

微型离子泵抽速特性测试装置

王金锁

上海维太真空技术有限公司

　　摘要：本文介绍了对标称抽速为(0.5～2)L/s 的离子泵，在(10-5～10-3)Pa 真空度下实际抽速特性的测试装置和方法研究。

　　袖珍型铁铁离子泵(单独某个或多少抽速第一单元测试)抽速精确侧量须要遵循下述原则：结构的必要简单，减掉吸放气决定;对铁铁离子泵第一单元测试气温烘烤(350～550)℃除气；精确侧量的办法、精确侧量器材的难以判断必要适宜，包括遵循成本预算和不判断度的切换。 　　论文中针对性上面的多个其主要这方面的设计方案难点、激光加工制做做出需要的讲述。