溅射离子泵抽速抽速测量方法包括动态流导法和静态法。考虑到静态法中出气影响较大,采用了动态流导法。如图2 所示,气体由充气室经过标准流导进入测试室,然后被微型溅射离子泵抽走。

 

图2 　动态性流导法举手图         用在测量规定流导两端充气式室和測試英文室的压强P1、P2,按下面的函数计算出来出小形溅射铁离子泵对測試英文室的抽速Ss(基层单位L/s):

        式中Cs(单位名称L/s) 为图2中的标准化流导, 用下文公式换算求算:

       式中h为圆孔的角处层厚, d为圆孔截面积,以mm计。         由式(1)看不出,原则流导的选择对各种测试室和打气室的气物压强比有很多的关系的。经历致使反复实验报告, 选择1个直径怎么算为019mm ,机的薄厚为012mm 的孔眼,能否算出Cs = 0106L/s,使两端的水压差在5 倍身边,因而使抽速測量的偏差缩小到。 超小型溅射铝离子泵抽速:

       Cp为徽型溅射化合物泵res排汽管流导, 由式(4)按长圆管计算:

      式中L为进气管的长度, dp 为进气管的直径,以mm 计。算起毕竟还需求用克劳辛公式做好短管调整法 。 日常动态流导法抽速測量操作步骤

        参考中华人民共和国机械行业标准溅射离子泵性能试验方法(JB/T 2965-92) ”,针对微型溅射离子泵,制定了抽速性能实验方法,步骤如下:

        首先进行再生烘烤程序:开动分子泵,对微型离子泵和动态抽速测试室进行4h 烘烤,平均烘烤温度低于350℃。然后,停烘烤使离子泵温度降低至配套磁钢居里点200℃以下,并用配套磁钢和电源启动离子泵。待冷却到室温之后,关闭测试室旁抽阀,调节进气控制阀,放入高纯氮气,使测试罩内的电离计指示值P2 =(110 ±011) ×10-3Pa 。抽气维持足够长的时间(抽速>10L/s 离子泵行业标准为100 min) 使微型溅射离子泵达到稳定状态。

      然后关闭进气阀,离子泵继续工作相当长的时间后,如果P2 的指示值在5 min 内变化不超过±5% ,则该值可视为系统本底压强,定义为P2min。为降低本底压强所造成的误差, 测量抽速时P2的最低值不应<5P2min。调整进气阀,放入高纯氮气,使P2的指示值由最低值开始逐步增加,最高不应超过使微型溅射离子泵电压下降10 %的数值。每个数量级至少有三个测量点,每个测量点上的P1 和P2 的指示值观察5min , 要求的稳定度为5min变化不超过±5 %。记录P1 , P2 的稳定值,并利用获得的真空计校准系数进行修正,代入式(1)、(3)就可算出抽速。

      上限压强,阴阳离子流与压强的社会关系,极高启动时压强测评假设按照业内标准规范完成。

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