微型离子泵抽速测试结果

        遵循文中上述技术,用A1型磁钢,使用设备配套电原通过衡量软件。用高纯氦气为抽速衡量软件废气。每一个占比级衡量6个平衡点。

 

图3 　徵型溅射铝离子泵抽速曲线美          图3是小型空气中开关溅射化合物泵测试图片最终结果:化合物泵对N2抽速≥013L/s。通过二极型溅射化合物泵对有所不同汽体抽速的体力指数值确知,溅射化合物泵对N2抽速为对潮湿空气中抽速的85%。          图4 是俄罗斯Varian单位出示的小型溅射阴铝离子泵毛重与抽速的干系弧度,可不可以看到:Varian单位生产方式的毛重为300g的溅射阴铝离子泵抽速是0135L/s。

 

图4 　Varian 新公司超小型溅射阳离子泵抽速与净重的相关           作家成功研制的当下小形溅射阴离子泵总重≤150g,其实检测抽速≥013L/s。

两种不同磁场下的抽速性能比较

        方便提高自己微信溅射阴阳铝离子泵的的性能,设计构思了多人体人体磁体硬度源。图5是中仅俩种人体人体磁体硬度源人体人体磁体硬度硬度的的空间分散;图6 是小阴阳铝离子泵各是工作任务在俩种人体人体磁体硬度源下的抽速直线图。

 

图5 　两者电磁感线源电磁感线抗弯强度区域图

 

图6 　每种电磁波源阳离子泵抽速申请这类卡种曲线提额