低温泵的抽气原理主要是利用低温表面抽除真空容器中的气体来获得和保持真空。低温泵抽除气体的方式主要有两种形式：低温冷凝和低温吸附，如图1所示。

 图1 温度低冷疑和温度低离心分离

　　低温泵主要由泵壳、障板和冷屏、冷头、二级冷板等组成。为了监测到低温泵的使用情况，在障板、冷屏以及二级冷板上安装了硅二极管，可以监测到低温泵内的温度。

　　高温度泵是赖以生存小压缩机机展示 制冷量，将一级冷板水冷却到12K之下，使高温度外表面具备着抽气的能力。 　　利用率液氮展示80K左右两边的冷禁掉，为两级冷板展示冷题材，并冷疑一大批雾气等，保障冷板配备持续性抽气性能，增长上限涡流。 　　不绣钢泵壳出示密封胶生态环境，支撑着内外和外边机 及零部件，导致泵体。 　　泵口的障板基本是为进入到泵内的气休遇凉，并冷疑这部分气休，维护冷板不热膨胀震荡。 　　这三部曲分从外到内温从高到低，让互不交往， 之间热隔离，自上而下出具冷屏幕。

图2 温度低泵内外设备构造图