低温泵的工作原理及构造示意图
2014-09-27 郭方准 实用真空技术
环境温度泵的本职工作机理是使用废气在超环境温度面造成生物学过滤而达到了res排气的功效,是荣获无尘室正空的一些有效率、便捷的方式 。
低温泵能够达到极高真空(10-11 Pa),有排气速度快、无油和安装方向不受限制等优点,其构造如图1所示。

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