1、概述

　　半导体工业在硅片加工过程中，必须使用真空泵。真空泵油通常有两种： 碳氢化合物油(Hydrocarbon)与全氟聚醚油(PFPE)。碳氢化合物油极易燃烧，化学结构不稳定，容易降解，使得润滑性能容易降低，从而导致真空泵出现故障。尤其因频繁地更换真空泵油，包括停机维修时间的增加，而影响生产效率。而且，碳氢化合物油的可燃性也导致安全隐患，频繁更换真空泵油，存在大量的废弃物，对于环保方面是非常不利的。总之，许多方面均会导致运行成本的上升。

　　全氟聚醚油( PFPE ) 分子链饱和，不含氢元素，化学性能特别稳定，抗强氧化剂，与氧相容，不可燃，耐强酸、强碱等化学物质，高温性能稳定，并具有极低的蒸发速率和良好的润滑性能。不仅安全， 且使用寿命长。半导体工业在芯片加工过程中必须使用一些特殊的气体与某些具有毒性的强氧化剂，因而要求在工艺加工过程中广泛使用的真空泵具有非常优越的适应性，PFPE 因其优异性能而得到广泛使用。尤其在消除火灾或爆炸的危险隐患等方面更是性能卓越。世界著名的真空泵制造商， 如莱宝(LeyBold), 爱德华(Edwards)均使用PFPE 油作为其真空泵的介质，以保证其真空设备在特殊环境中继续保持优良的性能。

　　因，PFPE 是半导体行业芯片化工业企业真空环境泵油的最佳的决定，可以截然足够半导体行业芯片化工业企业中安全管理性、不靠谱性还有环保性等规定。

2、PFPE 油— KRYTOX ^b

　　韩国杜邦工司KRYTOXb 全系列表软件的真正的开发是发出自于航空预计，打比方阿波罗登月预计的汽车导航系统化用的润滑油剂，并首获成功的英文。继而应全游戏半导体行业化工业的需要量，杜邦工司KRYTOXbVPF 全系列表软件的得到了拥有具体负压泵制做商如L e y B o l d ,Edwards，Ebara 等的同意，均复合或突破拥有具体泵制做商有观品控担保人的的要求。

　　杜邦KRYTOX ^b 具体性能如下：

　　◆ 化学稳定性：KRYTOX^bVPF 化学性能非常稳定，耐强酸,包括极强的路易氏酸，耐强碱。性能非常稳定， 与接触的任何特种气体如氟气，SiH4 等，强腐蚀性物质，强氧化剂，还原剂等均不发生反应；

　　◆ 不燃烧性：KRYTOX ^b 分子结构中不含氢元素，耐氧化，不会燃烧， 无闪点，无燃点，可避免任何火灾的隐患，达到半导体行业安全性的要求；

　　◆ 热稳定量分析性：不高的蒸发器率和分解率，并能不要丝毫残余物物的达成而影向半导体器件工业化的中不良反应室的纯钻戒颜色及高蒸空度的持续；

　　◆ 卓越的润滑性能：尤其在比较宽的操作温度范围，在高负载，高压强的情况下，KRYTOX^b均具有良好的润滑性能，能够减少磨耗，尤其对于真空泵及压缩机等设备维持优良的运行性能等等非常重要；

　　◆ 107硅橡胶粘度和蒸汽招生指标比较稳定信得过: 可以保持稳定较低的分流率，若想可以持继地确保系统的的高真空度度。

　　综上所述，杜邦全氟聚醚产品-KRYTOX^b VPF真空泵油完全能够满足半导体工业的要求，尤其是针对半导体芯片加工过程中如刻蚀剂和沉淀过程中所面临的特殊气体，强腐蚀性化学物质，均能保证其操作的安全与可靠。

3、杜邦PFPE 的再造利用方案

　　全球上对室内生态环境管理性的追求越多越高。如何快速清理在高压气泵的保修和采用历程相应出现的废油是摆放每个公司身边的一难点。常用的清理方式是将出售的废油运至本土废油清理厂填埋。但PFPE是时未进行燃烧的。也便是说，简单清理采用过的PFPE油会从而造成cf凤凰之怒的室内生态环境生态破坏。 　　杜邦厂家全氟聚醚废油塑造充分利用的其它重要环节和出产软件程序，都实现在杜邦厂家看做默认PFPE正空系统泵油营造商的天赋和的工作经验根基表层。其它塑造工作上均在英国新泽西州的Deepwater营造电子厂完工。应用场景正空系统技巧网(crazyaunt.cn)历经多年的专门的工作经验，杜邦厂家PFPE正空系统泵油的塑造出产时，另外涉及结合，过滤系统，脱气，精馏，氟化塑造还有精炼等环节，另外氟化塑造是至关重要性的环节，并加以健全完善的浅析考试机制另外涉及气质联用色谱，红外色谱，原子团吸收的作用光谱仪等做法来实时公交跟进，浅析并网络监控相关的酸度，黏度，气体压等至关重要性的标准，以以 保障塑造出产的PFPE塑造油类能标准与新出产的PFPE油彻底性不一样，还有就是 保障在合理操控时中效果彻底性相等，制作工艺工作的最好的化及彻底性闭式循环系统等的共同点, 促使塑造提取率达95～98%。 　　杜邦司就是家也可以实现据此更高效、高质量，打造借助PFPE油的独一无二加工商。除此外，据此打造工业中，全部的油烟净化器，精心制作等方式生产生的废料物均认真依照韩国相对应的的法律法规来治疗，并认真依照涉及到的方式，便于于氛围保养。打造借助情况报告，这对于客好似下明显益处： 　　(1)为雇主搜集废油赠与具备封装桶; 　　(2)省去了防范废油的费和时; 　　(3)伴随净化油的重实用，最省了的操作使用制造费价格; 　　(4)因为废油的平安和正规处理，体现了坏保意图; 　　(5)保障重复巧用巧用的油达标原好产品的标准规范; 　　(6)杜邦公司将在全部运营具体步骤中打造工艺搭载。 　　采取此，外国人可以说各个的负压泵造成商和半导体器件心片造成厂均接纳此计划方案。自身各个碰过的PFPE油，取到当地政府杜邦大公司和其销售商的使用和产品。回收采取采取，保证 环保型，并变低料工费。 　　国家大半导体器件材料制作业开发更快，节能减排的要求持续加强。半导体器件材料业废油处里的节能减排毛病已引发的处理芯片制作厂及想关者的高宽比尊重。现有，杜邦国家大子子公司极其许可的经销处商已在国家大取得胜利地搭建了因此为的建全功能标准体系。一人面，把处理的PFPE 废油100% 运至加拿大杜邦子子公司新泽西服装厂实行应用术应用，使国家大中国大大陆想关品牌一模一样得此应用术应用情况报告的九大利弊;另外一个人面，为国家大的节能减排事业有成所作供献。