为了适应超高真空系统进行高温烘烤的需要，在超高真空管道连接处应采用金属密封垫圈，其材料大都是具有延展性好、蒸气压低的一些金属及合金（如铟、铝、铜、银、金、蒙耐尔合金等）。金属密封垫圈与弹性体垫圈相比较虽然具有放气量小、渗透率低、能耐高温烘烤等优点，但是密封时需要有较大的压紧力和较严格的调整技术，而且重复使用次数也较少。

    与弹性体O形圈相类似的金属密封垫圈是丝形圈。如图11所示，把丝形圈夹压在两个法兰之间即可达到密封的目的。图中（a）适用于铟丝，因

为它在小的压力下就可变形，但铟的熔点较低，不能烘烤到高温。铝丝可烘烤到400^oC，但需要较大夹紧压力。图中（b）适用于可重复烘烤到450^oC温度也不漏气的金丝密封垫圈。金丝在作为垫圈使用前必须退火以增大延展性。铜丝垫圈较少使用，因为它与不锈钢法兰的膨胀系数差别太大，在热循环中会漏气。

    金属密封垫圈密封的最经常采用的形式是剪切一个矩形截面的铜环。图12就是利用这种原理的四种密封形式。图中a为交错阶形密封；b为重叠阶形密封。这类密封垫圈一般只用一次。图中c是矩形截面金属垫圈密封的另一种形式。密封作用形成在刀缘两边，调整压力可改变卡入深度。用钝的刀口是为了保证法兰与垫圈的接触良好。图中d是锥形刀缘密封。c、d两种密封形式均可重复使用几次。