高真空玻璃系统的研究与改进

2013-02-27

高真空玻璃系统的研究与改进

马寅光 张涤新 刘苏民 (西安面积技術物理学研究分析所 西安 730000)

　　摘要：在真空技术中经常需要设计和制造玻璃真空系统。玻璃真空系统具有其特有的优势，结构简单、过程直观、改造方便、造价低廉、加工时间短。

　　在那些指定经济条件下是轻合金设计切不可被淘汰的，比如说在蒸空萃取渗透性碱轻合金的过程中中，因此强碱性轻合金这对于轻合金蒸空设计具备 　　锈蚀功能，产生合金材料控制系统软件在碱合金材料暖场下不可能长時间工作中中，而窗玻璃控制系统软件会避免这般锈蚀，不使控制系统软件会长時间工作中中在碱合金材料暖场中而不容易减小其负压安全性能。

　　本文正是基于玻璃真空系统的这种不可替代性，对典型的玻璃高真空系统进行了研究和改进。提出了利用小型钛离子泵和玻璃四级扩散泵联合抽气的方法实现玻璃真空系统的高真空。内容主要包括玻璃真空系统的典型结构、玻璃真空系统的测量、玻璃真空系统的检漏、改进后玻璃真空系统的结构、性能等内容。