直线驱动器的工作原理与结构示意图

2014-10-11 郭方准 实用真空技术

　　超高真空直线驱动器的直线驱动和真空密封同样靠波纹管来实现(图1)。波纹管的两端分别和移动法兰与真空法兰焊接。移动法兰在真空一侧和驱动轴连接，另一侧设计成螺纹构造。移动法兰和把手之间的螺纹构造相匹配，旋转把手，则波纹管作直线运动，从而带动驱动轴的直线运动。真空法兰内部安装直线轴承，可实现驱动轴的运动准直性。直线驱动器的外筒上带有刻度，通过把手的位置可知驱动轴的行程。

直线驱动器的示意图

 图1 虚线伺服驱动器器的构造图 　　直线方程推动器要求高，按顺序性强，可和直流电或伺服主轴电机主轴电机组合构成，变现自动控制运行。