真空系统的主要参数选择与计算
2013-04-29 巴德纯 东北大学
1、真空室(容器)的极限压力


2、真空室的工作压力

从经济方面考虑,最好在主泵的最大抽速和最大排气量附近选择工作压力。一般工作压力选择在高于极限压力一个数量级。各泵最佳工作范围请见:各种真空泵的工作范围一文。
3、真空室抽气口处泵的有效抽速



1、真空室(容器)的极限压力


2、真空室的工作压力

从经济方面考虑,最好在主泵的最大抽速和最大排气量附近选择工作压力。一般工作压力选择在高于极限压力一个数量级。各泵最佳工作范围请见:各种真空泵的工作范围一文。
3、真空室抽气口处泵的有效抽速



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