ZJ5410 型复合真空计可进行10⁵ Pa~10^-1 Pa 宽量程测试。为ZJ-54D 热偶规管研制了配套的扩流恒流源，同时又为ZJ-10 电离规管研制了由SM89C52 单片机和开关电源模块TOPSwitch 相结合的配套电源，本电源是一款新型宽量程复合真空计电源。本计充分发挥了单片机实时性好，容易扩展，运算速度快等功能，实现了热偶计压力值拟合曲线浮点运算，液晶屏多数据信息同时显示，真空度动态显示，真空度长时间记录和曲线显示等功能。

　　随着现代科学技术的进步，真空技术的应用越来越广泛。同时真空测量技术显得越来越重要，对真空计的要求也越来越高。目前在用的真空计大多已不适应新工艺的要求，尤其是在厚膜镀膜过程中，国内生产的真空计满足不了特殊真空设备需要。通过对市场上INFICON、瓦里安和莱宝等品牌真空计的研究，我们研制了适应我们需要的ZJ5410 型宽量程复合真空计，其外型如图1 所示。

图1 ZJ5410 型宽示值和好抽真空计形态图 1、ZJ5410 型宽测量范围分手后复合真空箱计的组合成和性能

　　ZJ5410 型宽量程复合真空计由ZJ-54D 型热偶真空规管和ZJ-10 型电离真空规管及配套电源组成。在这款配套电源中，热偶加热部分仍采用定流方式加热，但与一般的定流方式又有所不同。首先我们测得了ZJ-54D 型规管上限扩展的标准曲线，并在此曲线的基础上研制了可扩流的恒流源，使该计的测量范围与通常的单一恒流源热偶真空计相比有了很大提高。通常的热偶真空计测量范围是从300 Pa~0.1 Pa，这款真空计测量范围扩展到10⁵ Pa~0.1 Pa。电离计电源的设计参考了国外新型电离计电源。在单片机的控制下实现了离子流放大器量程的自动转换，稳发电流的自动切换，阴极电源采用了开关电源作为激励电源，配备了液晶屏做为显示窗口，使该计实现了智能化人性化。该计原理框图如图2 所示：

图2 ZJ5410 型宽量限符合进口真空计外接电源机理框图 2、热偶计一些 　　2.1、热偶规管ZJ-54D 的的原理及进攻的加密 　　热偶进口真空环境规管測量的差不多原则是证据团伙分別放任程长而显著特点长度时，气休热肌肉收缩与进口真空环境度会出现的有关的信息系性。规管的差不多结构如下图右图2 中的ZJ-54D 右图：各举F 为调温丝，J 为由两种方式与众不同复合结构的一批小电偶，O 为结点。当热丝采用有相应的工作电压时，使其结点水温优于身边气休和规管金属壳子水温，热丝与规管金属壳子间便可的发生气休热肌肉收缩现像。当以达到热稳定平衡时，热丝的结点水温与气休热肌肉收缩有关的信息，采用电偶测是结点水温内容输出一端电压电压数字移动信号，此端电压电压数字移动信号即相匹配有相应的阻力。若果将规管首先需要用有相应的手段进行了校对，便可反起来由热丝的水温来知道阻力。采用这个有关的信息系现像规管研发厂已给出了调温工作电压在30 mA 前提下，300 Pa~0.1 Pa 的条件曲线图剖析表，即表1。 　　如按表1 工作一般性的定流型热偶重力作用计，其自动估测面积只会估测300 Pa~0.1 Pa。以便使ZJ-54D型热偶规管能估测更宽的学习负担面积，有部分交流外接电源开关开关模块工作厂运用了定温式交流外接电源开关开关模块，即持续热丝水温保持着不变，当被自动估测的学习负担有波动规律时，调温交流外接电源开关开关模块要伴随着优化调温热效率使之热丝持续原本的订位的水温，同時自动估测路线图在自动估测波动规律的调温热效率来估测相对于应的学习负担。定温式交流外接电源开关开关模块才可以拥有分度值的寻址，可是电子设备路线图较为缜密，工作和运营成本费用要比定免疫印迹交流外接电源开关开关模块高非常多。人们仍运用规管工作厂推见的定流措施，在扩流措施使自动估测面积拥有同比度增强。 表1 加水工作电流为30 mA 时ZJ-54D 热偶规管准则线条比对表

5、实验结论 　　该计经历在多重镀膜等等机和重力作用回火炉上起时段运营下类提高良好的的运营情形，特点稳固正规。常常单面机非常怕强电滋场的干忧信号，因此我再次在单面机的硬软件三方面都实行了相同的抗干忧信号设配，使该计遏制住了内控转换开关电压的干忧信号的的同一也经得起住了对外部弱于电滋场的干忧信号。该计简便方法的人机对战情景对话摸式为动用者出示了简单的操作步骤。该计负压最大值示值的扩张特点、负压值的长时段连续性记下功能性键、lcd体现器屏几项原则的同一体现和等值线体现等功能性键满意了现阶段特有重力作用设配的要求。