几种典型的高真空系统图

2008-10-13 鬼马 真空技术网整理

    这种系统应用也比较广泛。它的工作压强范围在6.67×10-2～1.33×10-3Pa。如镀膜机、电子轰击炉和部分电阻炉等都采用高真空系统。

    ①扩撒作用泵电容并联生产设备泵的正空程序。该程序常见用在的上班时放气量较小的软件应用生产设备上。程序成分单纯，的上班靠普。生产利润高。瑕疵是程序点火慢，预抽气时长长。扩撒作用泵油液体很容易返流到正空室中去。     ②向外扩散泵结合油增压泵，再结合设备泵的真空体设备，该设备打火慢。因为有其中油增压泵存有，故预抽气耗时短些。     ③粘附泵关联罗茨泵，再关联设备泵的进口真空体机模式，它打火慢，但预抽气時间短(担心中有罗茨泵)。图16是由6个泵关联组成了的高进口真空体机模式。

采用扩散泵的三个泵串联的高真空系统图

图16：采用扩散泵的三个泵串联的高真空系统图