普发真空在半导体行业的解决方案
2019-10-05 普发真空中国
现今我们生活中的许多划时代的产品都离不开半导体技术。如果没有真空技术,许多具有开拓性的发明诸如晶体管、集成电路是不可能成为现实的。这些半导体芯片被用于生产电脑、手机、数码相机、MP3、DVD播放机、平板显示器、闪存、汽车控件和家用电器。许多此类的产品只能在洁净的真空环境下进行生产。凭借着丰富的产品组合,普发真空为半导体技术提供完整的解决方案。使用为半导体fab量身设计的产品,普发真空提供着令人映像深刻的一站式解决方案。
普发负压半导体行业fab详细的解決办法我们的产品可用于fab中4个不同的楼层。最上一层的洁净室包括产品生产和特殊的处理系统如APA 302和APR 4300。它们可以进行高质量的污染物处理。ASM 380检漏仪提供工厂技术人员进行日常管路的巡检和确保生产质量。此外,涡轮分子泵和DigiLine真空计则同PrismaPlus质谱仪一同安装在机台内。集成的A 100 L ES 干泵提供真空给预载室或传送腔。它可以安装在靠近腔体处,也可以是集成在系统中或者安装在下一层fab中。
系统的冷却设备、供电和射频发生器被安装在更下面一层。最低下一层则是真空干泵和减排系统。

















气穴现状以经被迄今为止为是容易造成离心法泵靠普性大大减少的大部分因为一个。本
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