普发真空在半导体行业的解决方案

2019-10-05 普发真空中国

  现今我们生活中的许多划时代的产品都离不开半导体技术。如果没有真空技术,许多具有开拓性的发明诸如晶体管、集成电路是不可能成为现实的。这些半导体芯片被用于生产电脑、手机、数码相机、MP3、DVD播放机、平板显示器、闪存、汽车控件和家用电器。许多此类的产品只能在洁净的真空环境下进行生产。凭借着丰富的产品组合,普发真空为半导体技术提供完整的解决方案。使用为半导体fab量身设计的产品,普发真空提供着令人映像深刻的一站式解决方案。

  普发负压半导体行业fab详细的解決办法

  我们的产品可用于fab中4个不同的楼层。最上一层的洁净室包括产品生产和特殊的处理系统如APA 302和APR 4300。它们可以进行高质量的污染物处理。ASM 380检漏仪提供工厂技术人员进行日常管路的巡检和确保生产质量。此外,涡轮分子泵和DigiLine真空计则同PrismaPlus质谱仪一同安装在机台内。集成的A 100 L ES 干泵提供真空给预载室或传送腔。它可以安装在靠近腔体处,也可以是集成在系统中或者安装在下一层fab中。

  系统的冷却设备、供电和射频发生器被安装在更下面一层。最低下一层则是真空干泵和减排系统。

普发真空在半导体行业的解决方案

Fab Model   普发真空室的产品设备的更多应用领域   任何的硅晶片的工作加工制作加工工艺 阶段中还在fab内进行:这种刻蚀、测试、镀一层薄薄的膜、浮雕加工制作加工工艺 和化合物添加。晶片工作研发厂商客观实在、零五金配件和礼品盒则有对应的工作行政区域。   位于于普发真空系统的避免定制普遍的施用在像这些的fab生产加工厂家里,为半导体行业研究方向的精密五金生产加工和独立性的定制研发出具了产品 的避免定制。   普发正空保证涡轮机氧分子泵、前级泵、正空泵组、检漏仪、正空计在下述的具体化新工艺中:   1、真空室渡膜   2、CVD方法   3、刻蚀   4、铝离子赋予和激光雕刻加工制作工艺    5、抽真空复制   6、晶盘转送   7、电子技术高倍显微镜(SEM and SLM)