真空室结构与材质配制 (Construction & Materials)
多种结构型态：球型、盒状、圆柱型及钟罩状，可由各种不锈钢材质 (304, 304L, 316, 316L) 或铝材质所制。所有材质是经过特別选择的，可达到低磁渗透性的要求。

加工能力 (Machining Capabilities)
我们使用业界知名公司(例如Mazak和Kuraki等公司)的最尖端的CNC加工中心。所有的加工中心都使用有利于真空的无硫冷却剂，以降低腔室表面放气。

检测及清洁处理 (Inspection & Cleaning)
我们一般使用精密的CMM检测臂去检查加工完毕的真空室的加工公差，而当使用我们的六轴CNC加工中心来制造大型的产品时，则采用在线检测探针进行现场检测。所有接缝处、焊接处及法兰连接处都要通过严格的观察检验及氦检漏测试，以达到真空完整性。

真空室的配制系统 (Chamber Sub-Assemblies)
为配合客戶特珠的应用需求，我们可以为客戶订制的真空室配置所需的其他真空部件，以构成一套完整的真空配制系统。

• 支撑的框架——是由碳素钢或挤压铝所制。多种不同结构的机柜及开放隔间可供选择。
• 泵组合——任意高真空泵(涡轮分子泵、低温泵或油扩散泵)，可同时配备相应的初级泵。
• 阀门及真空计组合——手动控制及全自动电脑控制，两种组合可选。
• 真空锁（Load Lock）组合——即样品预真空室组合，包括真空锁腔室、样品传送装置、涡轮分子泵及进气阀门等。