小型电容薄膜规的设计

2013-03-09 孙雯君 兰州空间技术物理研究所

小型电容薄膜规的设计

孙雯君，冯焱，马奔，习振华，成永军，赵澜 (银川区域空间技术设备电磁学研究方案所，四川 银川 730000)

　　摘要：由于制作工艺、使用材料等方面的限制，我国生产的商用电容薄膜规存在体积大、重量重、测量准确度不高等问题，无法满足一些领域的真空测量需求，因此研究并提出了一种小型电容薄膜规。

　　为以免校正方式中温暖发生转变引发的规管重要的部分的热磨损，减慢电感pe膜规的校正不明确度，开发中所所采用了因科镍和金布局机架机构和倒T 型机构的瓷器固定的极片;并在机架上端中开发有防热磨损机构。为去掉校正方式中外部杂散电感和因温暖发生转变而给予的校正的信号偏移，开发中所所采用了体积想同的双参比电极机构。

　　小型电容薄膜规整体尺寸小于Φ40mm×24mm，重量小于200g，测量下限可低至10-2 Pa，测量不确定度小于5%，可适应较宽的工作温度范围，满足不同领域的真空测量需求。