真空区域的几种划分
2016-03-05 真空技术网 真空技术网整理
有了量度真空度的单位,就可以定量地表示真空度的高低。但是,目前真空技术所涉及的压力范围已宽达20个数量级,为了使用方便,有时只需要粗略指出真空度的大致范围,通常定性地把真空粗略划分几个区域。划分区域的依据主要考虑真空状态下气体分子运动的物理特性、真空泵和真空计的有效工作范围等。
我国关于真空区域的划分,《真空技术名词术语(GB3163-1982)》中规定如下:



将高真空和超高真空的界限定为10-6 Pa,主要是考虑真空物理吸附机制只有在压力 p<10-6 Pa时才开始明显,才可由扩散泵抽气获得,由B-A计进行压力测量。至于超高真空与极高真空的划分界限在10-12 Pa,是因为p<10-12 Pa时,出现统计涨落(大于5×10-2 )。
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