根据弹性薄膜在压差作用下产生形变而引起电容变化的原理制成的真空计称为电容薄膜真空计。它由电容式薄膜规管（又称为电容式压力传感器）和测量仪器两部分组成。根据测量电容的不同方法，仪器结构有偏位法和零位法两种。零位法是一种补偿法，具有较高的测量精度。目前在计量部门作为低真空副标准真空计的就是采用零位法结构。

　　内容如下图右图为零位法滤波电阻式聚酯聚酯薄膜抽真空计的框架方式图。它由滤波电阻式聚酯聚酯薄膜规管、检测电桥用电线路、整流赔偿费电源开关、中频自由振荡器、中频放小器、相敏检波器和告诉仪器仪表等組成。

图 零位法聚酰亚胺膜真空室计的设备构造作用图 　　电解电解电阻（电解电解电阻器）式膜规管的里边装着一份废金属粘性膜片，在膜片的这一侧装有很大个固定住好参比参比电极，当膜片外侧的压差大为零时，固定住好参比参比电极与膜片形成了同一位静止电解电解电阻（电解电解电阻器）C0，它与电解电解电阻（电解电解电阻器）C1串连后是 測量电桥的一次桥臂，电解电解电阻（电解电解电阻器）C2、C3、C4与C5的串连组合一些几条桥臂。

　　金属弹性膜片将薄膜真空计隔离成两个室，分别为接被测真空系统的测量室和接高真空系统（pb<10^-3Pa）的参考压力室。在这两个室的连通管道上设置一个高真空阀门7。测量时，先将阀门7打开，用高真空抽气系统将规管内膜片两侧的空间抽至参考压力pb，同时调节测量电桥电路，使之平衡，即指示仪表指零。

　　然后，关闭阀门7，测量室接通被测真空系统。当被测压力p1 >pb时，由于规管中的压力差p1-pb，膜片发生应变引起电容C0改变，破坏了测量电桥电路的平衡，指示仪表上亦有相应的指示。调节直流补偿电源电压对电容C0充电，使其静电力与压差相等，此时，电桥电路重新达到平衡，指示仪表又重新指零。根据补偿电压的大小，就能得出被测压力p1，故有

　　式中：p1———被测经济压力； 　　pb———参考使用重压； 　　U———征收土地赔偿的电压； 　　K———规管常数。K=C0/d0，C0和d0不同为固定不动电级与膜片动平衡环境下的外部电阻和行间距。当p1>>pb时，检测结杲只是 可以说 各种压力，即

　　电容式薄膜真空计测量范围为10^-1～10¹Pa，其规管常数K可通过校准得到。