热传导真空计的测量范围
2016-03-11 真空技术网 真空技术网整理
1、压力测量下限
在低压力下(λ ≥r2),气体热传导散失的热量Qg与压力p有关;而热丝引线热传导和热辐射散失的热量QL、Qr与压力无直接关系(可能有一些次级效应)。当压力p更低时(λ》r2)Qg变小,并引起热丝温度变化,如果这种变化已无法从噪声中检测出来,则此压力即是测量的下限。此时热丝的平衡温度T1主要决定于QL和Qr。一般的热传导真空计的测量下限为10-1~10-2 Pa。
为了扩展热传导真空计的测量下限,必须提高Qg并设法降低QL和Qr。根据式(4-1),选用细而长的热丝,或选用λL小的热丝材料,均能降低 QL。但选择热丝材料时,还必须考虑机械强度、电阻温度特性、热稳定性和化学稳定性等因素。



2、压力测量上限
可根据筒体控制系統热电荷转移电流的方法论,谈谈热丝弧长r1远乘以管壳弧长r2的筒体控制系統,当λ≥r1时,其热电荷转移电流与压力值密切相关。涡流枝术网(//crazyaunt.cn/)指出这常见是仍然在r1《r2的实际情况下,原子核有种正碰的管厚的可能欧亚于有种正碰的热丝的可能,故混合有毒气体环境温暖相似度高乘以管厚环境温暖 T2。是在离热丝较近的相应内,混合有毒气体环境温暖才有剧变。如果压力再高,以至于λ<r1时,则碰撞热丝返回的分子,在其第一个自由程所碰撞的分子将是“热”的,此时,它必须经过多次碰撞才能丧失其偏高的热量。因此,对应于λ =r1的压力就是热传导真空计压力测量上限的理论值。实际的压力测量上限与规管结构和测量线路有关,可采取措施扩展压力测量上限。其办法包括:适当提高热丝的工作温度;采用细而短的热丝;利用热对流现象等。采用这些方法后,压力测量上限可延伸至103~104Pa,甚至可达0.1MPa。














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