摘　要：类金刚石碳膜而使优异的的功效,像高电阻功率率、高硬度标准、低耐摩擦弹性系数、很好的光学反应特征参数等体现 出很好的应用软件未来发展,越变越受过大众的关注新闻.今天采取智能辉光PECVD在有差异的智能相电压下成就地光催化原理了DIE聚酰亚胺膜.运用拉曼光谱图仪、原子团力高倍显微镜、nm压印仪等机 对聚酰亚胺膜的相结构设计、漆层形貌和结构力学功效开始了综合管理具体分析. 　　关键性词：单脉冲电池充电;等阴阳离子体氧化硅电学液相累积法;类金刚石碳膜;Raman光谱图;表面上形貌 　　等级分类号：O484.1　文章logo码：A 　　散文序号：1672-7126(2008)增刊-033-05 Microstructures and Properties of Diamond-Like Carbon Films Grown by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Gou Wei　 Li Jianfeng　 Chu Xinpu　 Zhang Liping　 Li Guoqing