真空热处理对镀Al薄膜NdFeB磁体组织和耐蚀性的影响

2011-04-28 孙宝玉 东北大学机械工程与自动化学院

  用直流磁控溅射工艺, 在NdFeB 磁体表面镀Al 薄膜, 并对镀Al 薄膜的磁体进行真空热处理, 研究工艺、温度和时间对镀层成分、组织和性能的影响。结果表明: NdFeB 镀Al 薄膜磁体经650 度 , 10 min 热处理后, 综合性能最佳, Al 膜层与Nd􀀁FeB 磁体在界面产生冶金结合, 增强了界面结合力, 又保持了Al 膜层的完整性、连续性和良好耐蚀性。通过对样品微组织的观察发现, 当热处理温度高于650 度时, Al 膜层与基体之间产生互扩散, 形成新的RFeAlB 相, 随着温度继续升高, 新相的长大,破坏了Al 膜层的完整性和连续性, 产生许多微缺陷和裂纹, 耐蚀性降低。

  NdFeB 磁体而使优质的磁块, 充沛的信息和相价廉物美的房价, 丰富地操作在电子厂、轿车三相电机、自行化、计算机所、医用自动化机械等探索方位。其实, NdFeB 磁体耐蚀能力差, 简单在高湿润天气潮湿的生活环境中被钝化与防污蚀, 条件了它的丰富操作。也许, 改善NdFeB磁体的防污耐蚀性的办法和工艺技术无数, 已获得好一点的操作郊果, 但已经完全性搞定, 对这些异常施工地点下的条件, 磁体的防污耐蚀耐热性不闯关, 这仍是阶段中国国家与世界上先进的技术水平的一定差距, 所以说, NdFeB 磁体防污耐蚀现象也是个首要的探索方位。   在基躯干面磨合防锈膜层, 是增强基体耐蚀功能较常见的家常做法 。Al 是拿来Fe 或者被过多APP的工业品结构类型原料, 资原充足和太便宜, 具备有好的导电、热传导和耐蚀性。Ku N C, Qin C D, 谢发勤等新闻报导了热蒸镀Al 和铝离子镀Al 工序对NdFeB 磁体在耐蚀性与剩磁几个方面的深入了解, 镀Al 磁体具备有好基本特征。磁控溅射渡膜的电磁学步骤具备有环境温度、高速收费站、一致闭环、磨合率高、与材料的特性映照性好的共同点, 又是没有湿法渡膜工序中酸、碱液体残渣的危害, 利于绿色环保。NdFeB 磁体磁控溅射镀Al 聚酯塑料透明膜, 增强其耐蚀性, 有的是项蓄有何意义、有未来的业务。本论文利于直流电压磁控溅射法在NdFeB 磁躯干面提纯了Al 聚酯塑料透明膜, 深入了解了热采取处理对基体及聚酯塑料透明膜组分、采取的危害, 并就工序对耐蚀功能的危害采取了了解和谈话。 3 、依据

  采用直流磁控溅射法在NdFeB 磁体上制备了性能良好的Al 薄膜。对沉积时间为2 h 的镀Al 薄膜样品进行了不同温度下的真空热处理, 并对样品进行了盐雾耐蚀实验, 结果表明: 表面镀有沉积态Al 薄膜的NdFeB 样品已经展现出较好的耐腐蚀性。经过650度 , 10min 真空热处理, 膜层与基体间产生冶金结合, 提高了膜层附着力, 保持了镀层的完整性, 使样品的耐蚀性进一步提高。当热处理温度高于650度 时, Al 膜层与基体之间形成新的R( Nd, Pr,Dy) FeAlB 相, 随着温度继续升高, 新相的长大, 破坏了Al 膜层的完整性和连续性, 产生许多微缺陷和裂纹, 使样品耐蚀性降低。