含尘抽气系统真空泵的配置和操作方法
2009-04-27 张以忱 东北大学
在抽气过程中,尘埃飞扬主要发生在刚开始抽除大气的高压力范围内,为此我们可以从真空系统的结构和操作方面采取措施防止和减少尘埃的产生。
从抽气机组泵的配置考虑,目前能够抽大气的大抽速真空泵主要有往复泵、水环泵、旋片泵和滑阀泵,其中能直接在尘埃条件下工作的只有水环泵,因此在有尘埃系统中用水环泵预抽大气是比较好的方法。真空机组的配置可以是: 水环泵+ 罗茨泵+ 滑阀泵,其结构简图如图32(a)所示。在多机组的应用场合,甚至可以考虑共用一台大抽速水环泵。
(b)用能调孔板或高压阀门操控系统性再启动时抽速1. 被抽容器 2. 过滤器 3. 罗茨泵 4. 滑阀泵 5. 水环泵 V1~V4.阀门 V5.可调阀门
图32 烟尘蒸空体系结构类型简图 从的操作的的说,在抽下垫面时恰当的缩小设计抽速有助于于以防止浮尘的飞杨,随后图32(b)图甲中的设计空间结构,在被加制冷剂间与泵期间如何设置会调整阀体或会调整孔板等以减少抽速。的控制开始和结束抽速,時间推移设计压差的回落,越来越大开启阀体或孔板以增高抽速,那样方式 简约很好。但减少开始和结束抽速会加长抽气時间,可随着被抽收纳空间的面积、高压气泵的抽速及开始和结束抽速回落的数量,基本上会加长数分至数万半个小时。在对抽气時间稍有加长会合法的采用形式,这里是是一种较佳的的操作的方式 。














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