图1 所示为典型的分子泵加钛升华吸气泵的真空抽气系统。该系统各零部件均按超高真空卫生条件进行清洗后组装。涡轮分子泵，钛升华泵的冷却水压力为0.03 MPa，钛升华器可连续调节升华率。系统漏气率＜10^{- 8} Pa·L/s，系统预抽真空为1 Pa，环境工作温度为20～25℃。

1.分子泵　2.冷阱　3.放气阀　4.钛升华泵　5. 电离规　6. 热传导规　7.粗抽阀　8.机械泵　9.前级阀　10.高真空阀

图1 分子结构泵加钛升化泵进口真空软件 　　在控制设计中最佳地施用钛进化泵是一种个很沉要的话题。基本可能渐渐控制设计蒸空度的波动主要采用各不相同的钛进化率和做工作阶段，其意图是节约用电钛的耗费量，以加长钛进化器的施用质保期。

　　该系统组装好后，如果各部份都不烘烤去气。开动机械泵预抽真空，当真空达到1 Pa 时启动涡轮分子泵。系统最终可达到的真空度为10^{- 5} Pa。如果对系统烘烤去气， 涡轮分子泵烘烤85℃，钛升华泵烘烤350℃，B- A 规管（或冷磁控规管）烘烤350℃，烘烤时系统内抽预真空为1 Pa。经过彻底烘烤除气（～24 h）后，启动涡轮分子泵和钛升华泵一同工作，该系统最终真空度可达到1.5×10^{- 9} Pa。

　　使用增压团伙泵和钛转化泵搭档体统的优越性一下： 1.平台的人体极限真空体度进行提升

　　两泵组合使用后系统的极限真空度有所提高，在不烘烤的情况下也可以提高一个数最级以上，而且系统进入高真空的时间短，故特别适用于不允许烘烤而工作周期短的无油真空系统。通过烘烤去气后，该系统最终能达到10^{- 9} Pa的真空度。可以用于极限真空度高的无油真空系统中。另外，分子泵加钛升华泵系统的使用与维护方便，成本低廉。

2.抽速增添 　　该整体对新鲜空气、惰性其他实验室固体、氡气的抽速都超出该整体两泵独自抽速之和干系。抽速的延长不错回答为其他实验室固体中的惰性其他实验室固体被大团伙泵排走，甚至高质量越大，排走的机率比也越大，如此一来进化泵内钛膜被惰性其他实验室固体占有的空位机率比少，能积极充分调动钛进化泵钛膜的能够吸气功能。钛膜另一半氩如此一来的惰性其他实验室固体的吸气能较低，惰性其他实验室固体主要的由大团伙泵来抽除。唯有不必该整体来判定纯惰性其他实验室固体或含惰性其他实验室固体多的其他实验室固体。该合整体的用于性是较强的，对增加正空整体的能和消减成本价是大幅有好处的。