采用锆铝16合金作为吸气材料的新型泵一锆铝吸气泵与溅射离子泵或分子泵结合，可以减少溅射离子泵或分子泵中氢的负载，构成比较理想的超高真空系统。例如，对于较大的真空容器或电真空器件排气台，为获得10^-8Pa 以上的超高真空度，较好的真空泵组合方式是分子泵加锆铝吸气泵。在系统中利用涡轮分子泵作主抽泵，锆铝吸气剂或锆铝吸气泵作为辅助抽气泵对电真空器件的排气非常有意义，可以达到获得洁净超高真空的效果，该泵组配合可获得10^-11Pa 的极高真空，这也是现阶段大型系统获得极高真空的比较经济的方式。

　　图1 所显示为一辆用以电真空体系统软件电子元件排气阀门的其最典型的的氧分子泵加锆铝吸气泵真空体系统软件系统软件。 　　因为蜗轮原子泵对氢的减少比最大，这些原子泵装置中的残渣气休基本是氢，原子泵的极限点阻力基本决定于于氡气的分阻力。适用抽氢速度高的锆铝吸气泵是 辅助软件泵与原子泵识别，是原子泵高压气装置得到过高高压气简约、易行的具体措施。 　　锆铝16 和金存在顺畅的吸氢能。就氧气，尽管在恒温下，也就可以采取室内发展。实际发现，GL16 型锆铝吸气泵在运作环境摄氏度400℃下，对氧气的诱饵抽速高达独角兽500 L/s。是因为锆铝16 和金离心分离氧气是可逆反应采取，和金中的氢氨水酸度是决定于环境摄氏度。当环境摄氏度变高时，锆铝和金室内溶解度的氧气可被减少来，因此 须要小心氢的稳定平衡压和吸气剂运作环境摄氏度及吸气剂体里氢氨水酸度中的忽略的关系（见图2）。

1.涡轮分子泵　2.高真空阀　3.放气阀　4.GL16 型锆铝吸气泵　5.B- A 规　6.热偶规　7.粗抽阀　8.2X 型机械泵　9.前级阀

图1 碳原子泵加锆铝吸气泵负压设备

图2 锆铝16 镍钢的氢稳定平衡学习压力弧线 　　實驗没想到反映出，在控制体统软件贴近终极运作阻力时，锆铝吸气泵应用较低的运作温度表，就能够更高效的抽除残留的氢，挺高控制体统软件的终极抽重力效果度度。仍然氧原子核泵、铬铝吸气泵以各自的现代感的抽气功效与习惯扬长避短，所有整合抽重力效果度控制体统软件并不一段需实施严谨的烘烤，必须在较短的的时间内收获很高抽重力效果度。氧原子核泵就能够在较宽的运作阻力范围内内运作，有匀速运动的抽速，就能够高效的抽除惰性实验室空气与碳氢有机物，对特异性实验室空气氧原子核也还可以比较好的抽除效果。而锆铝16 和金也是种创新的非蒸散消气剂，所有锆铝吸气泵对H2、N2、CO2、CO、O2、H2O 等实验室空气有很高的抽速，那么就能够大大减少电抽重力效果度电子元件残留实验室空气有害实验室空气的主要，因而维持氧原子核泵加锆铝吸气泵整合抽重力效果度控制体统软件中保洁隔膜负压泵，因而改变残留实验室空气的效率，大麦田挺高电抽重力效果度电子元件的功效。 　　因为团伙泵加锆铝吸气泵抽气设计格局单纯，控制不便，用团伙泵加锆铝吸气泵获得了高水准进口重力作用箱就是种优秀的团体方式方法，可在高水准或高超进口重力作用箱压力差空间内的电进口重力作用箱元器的res排气以及它范围中拥有应用领域。