1、真空系统规自校

　　利用静态稳压比对法校准低真空规管，原理是通过微调阀向校准室注入一定量的气体并使压力稳定，通过被校规测量的数值与标准规测量的数值进行比较，获得被校规的相关参数。该方法适用于测量范围在1×10^-1 Pa～133kPa 内的规管校准。因为校准压力较高，为避免校准气体对超高真空室的极限真空的影响，设计选用稳压室兼做低真空校准室。作为校准室，需要排除真空室自身放气的影响，因此低真空校准室工作本底真空度需优于1×10^-3 Pa。同时要求该校准室的极限真空优于1×10^-4 Pa 来保证真空室自身的低泄漏率，避免泄漏的因素对测量结果带来误差。校准的标准规选用inficonCDG045 系列电容薄膜规，该系列薄膜规具有45℃温包，温度恒定，减少周边环境温度变化对规测量结果的影响，且该型薄膜规具有对气体选择性小、精度高、重复性好等特点。通过配备三只标称量程分别是1000Torr、10Torr 和0.1Torr (1Torr=133Pa) 等于的电容薄膜规可以很好的覆盖1×10^-1 Pa～133kPa 的校准量程范围，测量精度也能达到校准要求。

　　利用动态比对法校准高真空规管，方法为利用稳压室建立气体的稳压源，通过高精度的微调阀将气体不断地注入校准室，同时保持分子泵机组对真空校准室的抽气，并通过微调阀调节气体的流量，使校准室真空度维持在校准的真空度范围内。为了保证校准室气流的稳定，校准室入口设计有散流板进行散流，双球室之间通过小孔板稳定气体气流。该方法适用于1×10^-1 Pa～1.0×10^-4 Pa 范围的规管校准。一般要求校准室的工作本底真空度优于1×10^-6 Pa。标准规采用布鲁克斯的GP370 真空规，同时通过四极质谱计获得的离子流的参数，换算出相应的分压力值。微调阀采用安捷伦的面密封阀。

2、漏孔进行校正 　　漏孔自校用四极质谱核查法自校。核查法自校较小漏率真空度漏孔时，要想获取与被校漏孔一样或相同的空气国内联通流量，一样 用放置流导法充当标准规定空气国内联通流量换取的行为，该的方法含有结构类型简易、使用便于、精确测量不确保度小、自校精准度高等学校特征。 　　目的为进行相等用户访问量的标淮漏孔，借助稳压室有学习学习压力的调理，向双球标定室倒入平稳用户访问量的其他有毒气态，并进行碳原子泵空气能热泵对蒸空标定室将持续抽气，并借助调整阀调理其他有毒气态的用户访问量，使标定室有学习学习压力维系在刚好合适的标定有学习学习压力位置内，为标定室树立起漏孔其他有毒气态的动态信息平稳。最先进行四极质谱计领取标淮漏孔的阴阳亚铁离子流指标，再切回到被较漏孔，领取被较漏孔情形下的四极质谱计阴阳亚铁离子流。借助表达式(1)统计查出被较漏孔漏率各值。

　　式中：QL—被较漏孔的漏率，Pa·m³/s；

　　IL—被校漏孔微流量数据相关联的化合物流，A； 　　IS—规则漏孔微流量数据所相应的的化合物流，A； 　　I0—系统化本底正离子流，A；

　　Q—标准漏孔的漏率，Pa·m³/s。