为满足航天器热试验常用真空计及标准漏孔的校准需要，研制了多功能真空校准装置。该装置可用于进行热偶真空计、压阻规、电容薄膜真空规、潘宁规、热阴极电离规等真空测量传感器的校准，同时也可以用于渗透型真空漏孔的校准。装置选用静态比对法、动态比对法、质谱比对法设计建成，真空校准范围为1.33×10⁵ Pa～1×10^-4 Pa，真空漏孔校准范围为5×10^-5～5×10^-9 Pa·m³/s，装置智能化水平高，操作简便，适合真空规管的批量校准。

　　随着我国空间科学技术的发展，真空测量技术也得到长足进步，已广泛应用在航空航天、电气电子、石油化工等行业。特别是我国载人飞船、登月工程、火星探测等一系列国防新领域的飞速发展，对真空测量提出了更高的要求，相应的高精度、高可靠性的真空计量校准需求也应运而生。

　　传统性的实验英文室真空室体度校正安装基本都体系来设计方案复杂化，科研学费高，校正用时长，始终无法 足够航空工业器科研级任务的必须 。本篇文章科研了一大套全智能模块真空室体度校正安装，该安装选择使用各式各样对比法、各式各样对比法各类质谱对比法的校正原则科研而成，利用来设计方案各不相同满满量程的电解电容溥膜规组合成规范准则规组的的方法，改善了简单规范准则规在满满满量程标准之内内控制精度测量误差的疑问。安装还还具有进行容易，自动式化系数高，可快速校正等优势特点，安装校正标准之内既扩大了航空工业方向常见真空室体度校正供给，又还还具有科研费用低，合理性价此较高的缺点。 　　1、校对装置设备来设计构造

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　　2、多基本功能真空系统标定控制系统的标定设计原理方案

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　　3、多系统真空箱校对系统的重要效能技术指标

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　　4、收尾语

　　经实际测试，本装置各项性能参数优于设计指标，其中高真空校准下游室的极限真空度比设计指标提高了一个数量级，真空校准范围也有一定的拓宽，选用的无油多级真空抽气系统解决了装置长时间工作可凝物污染的问题。多功能真空校准装置因其简便易于操作，可大批量校准等特点，在提高航天设备可靠性和产品质量方面起到了很好的促进作用，为我国国防科学技术的发展提供了基础设施保障。