真空比对法校准装置采用了动态直接比对法、静态直接比对法和静态膨胀法， 在一台装置上复合了三种方法， 满足了拓宽量程的需求。该装置可以1×10⁵~5×10^{- 4} Pa 范围内的各类真空规进行校准， 是一种结构简单、操作方便、检定效率高、实用性强的真空标准装置。整套装置由涡轮分子泵、校准容器、副标准真空计和金属膨胀阀等部件组成， 主要技术指标符合国际标准化组织和国内有关真空标准的规定。

　　真空校准技术比较复杂，标准装置造价比较昂贵。比对法真空校准系统具有许多优点， 它选用精度较高、性能可靠的真空计作为副标准, 是一种结构简单、量程宽、造价便宜、操作容易的真空标准装置, 其校准的不确定度取决于合理的系统设计和选用的副标准的不确定度。以往需要用三种不同原理和不同结构的真空标准装置, 实现所需范围内的压力校准[1]。随着技术的进步，特别是航天科技的发展， 为了提高工作效率， 解决大量真空计的校准任务，也更准确的为航天型号服务， 在分析国内外同类标准的优缺点的基础上,研制了一台新的真空计校准装置。该校准装置选用了动态直接比对法、静态膨胀法和静态直接比对法三种校准方法实现了1×10⁵~5×10^-4 Pa 范围内真空规的校准，满足了型号的不同需要。

1、实际进行分析和设备构造构思 　　印象深刻定义重力作用机控制系统力学认识论是的结构类型设定重力作用机控制系统机控制系统的基础条件， 在重力作用机控制系统机控制系统中， 废气原子核流场的占比图制作是采取负压检测、抽速检测及机械设备的结构类型的结构类型设定时应该需要考虑的的更重要关键的因素。核对法重力作用机控制系统校对传动设备的结构类型设定的关键的部位为校对室， 校对室储罐类类等的形态， 规模和储罐类类等中原子核流场的占比图制作心态直接性干系到该学校对传动设备的高精准度和平稳性[2]。因为，对储罐类类等内原子核流场占比图制作的心态采取了的研究。在占比图制作均匀的, 等温、各向同性恋的稀稠废气心态下, 废气原子核应遵照麦克斯韦加速度占比图制作和余弦基本定律，负压值才有看不出的力学功用, 俩个数学公式也能成为， 在球体储罐类类等中最时候于建设这样的废气心态。专著[3]给于了球体储罐类类等内外表面原子核流密度单位占比图制作线条图（如1如图，对校对室的的结构类型的结构类型设定兼有评价表功用。

图1 球体容器类内外表面分子式流密度计算分布图制作 　　对球状机系统沿竖直走向, 从打到下将内单单从表面划分成10 条检查带, 见图1，各检查喊上的评均入射大原子式流容重N（i 大原子式数/mm2） 与赤道附近小区的评均入射大原子式流容重N（ 大原子式数/mm2） 相比之下为纵轴系（Z轴）[4]。 　　从图1 可以看到球状烧杯内大分子结构式流区域划分范围的情况。即，在球状操作系统内表皮上，大分子结构式流场区域划分范围不几乎不匀， 在填报志愿系统随近大分子结构式流体积上限， 而在出填报志愿系统与赤道内较小。

　　校准容器的结构设计还考虑了表面积与体积之比应尽可能的小， 故选用球形容器最理想，因为同样大的体积球的表面积最小， 而且在容器中能够建立起各向同性运动的分子流状态。但球形容器造价高，加工比较复杂。如果选用圆筒型容器， 则要求筒长于筒径之比不大于4。在设计校准室的容积时，要大于连接到该容积被检真空规总容积的20 倍， 又要考虑容器太大、放气量大、抽气的时间长、计量测试的效率低。该装置设计的校准室容器总容积22.4 L， 备有9 个标准法兰接口， 同时可接5 个被校准的真空规， 经过计算被接真空规的总容积为0.12 L， 远小于校准室的容积。

5、目的

　　经过性能测试,该真空比对法校准装置的主要技术指标完全满足了动态直接比对法、静态膨胀法和静态直接比对法三种方法校准真空规的技术要求, 可以对1×10⁵~5×10^{- 4} Pa 压力范围内的各种真空规进行校准。该真空校准系统是一种方便而实用的日常校准装置，对航天型号的研制具有重要的保障作用。