四极杆质谱仪中启用二次电子倍增器 (SEM)优缺点
2015-06-20 真空技术网 真空技术网整理
使用四极杆质谱仪测量真空腔体内的残余气体成份时,如果要测量极其小的离子电流或需要极其高的测量速度,则使用物理前置放大器,即所谓的二次电子倍增器。

上图显示了此类倍增器(SEM = 二次电子倍增器)的典型结构。圆柱形金属片(倍增器电极)具有能够提供低级别电子功函数的涂层。根据其动能,离子或电子在撞击该层后产生多个二次电子。串联的多个阶段从单离子处产生电子雪崩。在倍增器电极之间施加大约 100 V 的正电压,以加速电子。通过电阻链向倍增电极之间供应高电压(大约 1,000 ~ 3,000 V),两个电极分别连接至该电压分接头,按照这种方式安排技术实施。高电压正极接地,以保持逸出电子处于接近地电势的状态。这些类型的安排产生107 的电流放大因子。
分批手机培增器确认法拉第杯给出下例特色: ■ 它大大地加强了机器设备的精确度度,作为精确度度加强达K = 10 A/hPa。 ■ 这代表着着,采用上下游人体静电计图像放大仪也可以在更短的时光时间内阅读较低的分压。 ■ 信噪比可是如果超过除静电计调大器,这象征着,检查测量限定可越来越低两个数级。这仅在髙度调大因素下到 SEM 中也要建立较低暗电流值(的噪音质量)时选用。精确度度的自我发展添加未怎样的实际价值。 同时,SEM 也有着优点和缺点: ■ 其图像放大率容易危害或活性酶类层中的生物转化而发生了提升。 ■ 有碰撞现象铁铁离子(约有 1 到 5 个电子元器件设备)的电子元器件设备数(换为分子)考量于铁铁离子养分(线质量判别)。 扩大率备受这个各种因素的导致而更改了。以至于,必要一直对 SEM去校正。去更改了高线线电压可能很便捷地对扩大率去修改。去给最个翻番器工业提拱务求=各种铝离子体力的孤立高线线电压可能保持稳定变换指数固定一致。 凭借着再次电子器件增涨器的帮助,可高速 的参与预估。从表2中能够看得出,其预估车速显著的低于利用法拉第杯的预估车速。
在计数模式中,SEM 的速度限定了动态范围的上限。使用20 ns 的脉冲宽度,非线性以每秒106 的事件开始。鉴于其脉冲宽度,SEM 一定 适合作为计算器。
所有二次电子倍增器的共同点是,它们被限制在低于10-5 hPa 的压力下操作。在高于这些压力时,倍增器电极上的水层可导致操作中的高温分解,从而导致过早老化。由于涉及高电压,可能损坏 SEM 的气体放电可在压力 p > 10-5 hPa时发生。
















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