一种四极杆质谱仪真空测量及控制系统的系统结构图

2017-06-13 李凯 钢研纳克检测技术有限公司

  本测试和操控机系统通过的结构的右图2 右图,重点由ARM 微操控器、ADC 抓取电源电路、CAN 数据通讯接口标准、HM-TRP 移动收取和发送接口、上位机软件和机械泵规根据。

  四极杆质谱仪对真空度的要求为:接口部分真空度范围为200Pa~ 大气压;离子传输部分的真空度为10-2 Pa 左右;四极杆部分的真空度为10-4 Pa~10-6 Pa 左右。根据以上要求,选用了瑞士英福康公司的皮拉尼规和潘宁规,皮拉尼规的测量范围为大气压至10-2 Pa, 潘宁规的测量范围为100Pa~10-7 Pa,其中接口部分和离子传输部分用皮拉尼规,四极杆部分用潘宁规。

一种四极杆质谱仪真空测量及控制系统的系统组成

图2 控制系统设计图   系统化办公具体步骤下面:ADC 采集程序工具电路原理采集程序工具按装在音频接口标准、阴离子视频传输和四极杆一些的重力作用箱泵规的模似内容输出值,并在ARM 微调节器的调节下给出重力作用箱泵度转变成公试将其转变成为重力作用箱泵值,每立个上按照CAN通信设备音频接口标准将重力作用箱泵值导出至PC 机表示,另每立个上按照RS232 接口和手机无线出入库接口将重力作用箱泵值运送过来表示销售终端表示。

  同时,控制器根据真空值及内部识别电阻的端电压值实现接口、离子传输、四极杆三个部分的真空规类型的识别及三个真空规的级联控制,并通过CAN 通讯接口来实现其他单元部件的级联控制和整机的流程控制。