一种四极杆质谱仪真空测量及控制系统的系统结构图
2017-06-13 李凯 钢研纳克检测技术有限公司
本测试和操控机系统通过的结构的右图2 右图,重点由ARM 微操控器、ADC 抓取电源电路、CAN 数据通讯接口标准、HM-TRP 移动收取和发送接口、上位机软件和机械泵规根据。
四极杆质谱仪对真空度的要求为:接口部分真空度范围为200Pa~ 大气压;离子传输部分的真空度为10-2 Pa 左右;四极杆部分的真空度为10-4 Pa~10-6 Pa 左右。根据以上要求,选用了瑞士英福康公司的皮拉尼规和潘宁规,皮拉尼规的测量范围为大气压至10-2 Pa, 潘宁规的测量范围为100Pa~10-7 Pa,其中接口部分和离子传输部分用皮拉尼规,四极杆部分用潘宁规。

同时,控制器根据真空值及内部识别电阻的端电压值实现接口、离子传输、四极杆三个部分的真空规类型的识别及三个真空规的级联控制,并通过CAN 通讯接口来实现其他单元部件的级联控制和整机的流程控制。














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