摘　要：中心句选用非失衡磁控溅射机器设备,按照了多种其他的TiN到Ti-O的衔接具体方法,在Si(100)和Ti6A14V基体上备制了TiN/Ti-Opetpe膜.按照了X光谱线衍射(XRD)了解petpe膜的框架;选用AMBIOSXP-2新台阶仪监测petpe膜能力;选用XDl000B knoop型显微光洁度仪、卷心菜CSEM销盘滑动摩擦损坏實驗机、WS-97机系统刮痕實驗机对petpe膜的测力功效开始监测.但是说明,在钛合金钢钢表明备制TiNpetpe膜后,开始变低N2手机流量至0 sccm,沉积状二层Ti膜,用开始通入O2备制Ti-Opetpe膜的加工备制的TiN/Ti-N/Ti/Ti-Opetpe膜具备有最好的测力功效. 　　关键所在词：TiN/Ti-O组合塑料薄膜;非平横磁控溅射;高耐磨损;膜基依照力 　　划分号：TB34　论文标识（标签）码：A 　　内容编码查询：1672-7126(2008)增刊-047-05 Mechanical Properties of TiN/Ti-O Composite Films Grown by Unbalanced Magnetron Sputtering He Chan　 Qi Feng　 Leng Yongxiang　 Huang Nan