为了减小现场环境与校准环境的差异对真空漏孔校准的影响，通过理论研究，设计了现场真空漏孔校准装置，可实现对真空漏孔的现场校准。考虑到现场真空漏孔校准装置需便于携带及搬运，装置的设计采用了分体式结构。现场真空漏孔校准装置由抽气系统、校准室系统、真空漏孔连接系统、流量输出系统、充气系统、定容室与压力测量系统及烘烤系统等7 个部分组成，复合了定容法及固定流导法两种校准方法，预计真空漏孔校准范围为5×10^-10～5×10^-5 Pa ⋅m³/s，合成标准不确定度为10%。

　　前言 　　迄今为止，在正空检漏中，经常用氦质谱检漏仪对很小其他气体液化气泄漏来实行按量估测，而氦质谱检漏仪其主要分为正空漏孔来实行检定。鉴于正空漏孔经常是在实验性设计性室来实行进行校正，实验性设计性室进行校正自然大区域大部分的规定为：(1)自然大区域室内温暖为23 ℃±3 ℃，进行校正操作过程中室内温暖波动性不算太超过1 ℃/h；(2)相对比较室内空气湿度不算太超过80%；(3)进行校正时身边自然大区域不容许有额外增加热原、强振功等。但在办公实地现场具体上在使用正空漏孔进行校正氦质谱检漏仪时，自然大区域室内温暖、及室内空气湿度与进行校正自然大区域想差不小，不许符合进行校正自然大区域的规定，正空漏孔身的漏率就会發生的变化，倘若具体上的漏率值与实验性设计性室进行校正的漏率值發生了倾斜， 　　二者之间制造的误差值会导致氦质谱检漏仪确切的性。考虑到提供服务措施检漏的效率，对氦质谱检漏仪确定规定时须用到负荷率下机械泵漏孔的真实度漏率值，因需求开发及研发直播 视频机械泵漏孔校正传动装置，进行对机械泵漏孔的直播 视频校正，因此以免校正的工作环境与实际效果动用的工作环境的地域差异因起的漏率偏移，上升对氦质谱检漏仪规定的确切的性。另一类上，机械泵漏孔的直播 视频校正，也让机械泵测量出了校正进行工业，进行了对基层组织单位名称的可以测量提供服务措施提供服务。

1、现场真空漏孔校准装置的设计

　　1.1、装修设计思维 　　来充分选择场所自校的特俗性，场所抽蒸空泵漏孔自校安全传动安全装置应当在保持自校質量的情况下，还需需要无法操作使用轻松、非常容易随身挟带、装卸等必须。经常使用抽蒸空泵漏孔自校最简单的方式 有定容法、恒压法、加固流导法、较为法等 ，来充分选择场所的特俗必须及漏率自校依据，同時保持抽蒸空泵漏孔场所自校的可靠的性，场所抽蒸空泵漏孔自校安全传动安全装置塑料了定容法及加固流导法不同自校最简单的方式 。因为易于随身挟带、装卸，场所抽蒸空泵漏孔自校安全传动安全装置场所采用了了工作式机构，各个部门分可做出切分和按装，以适宜场所场景优势，需要无法场所抽蒸空泵漏孔自校的需求。 　　整体这些问题，设计方案的施工现场真空箱室漏孔校正控制设计包括由打气设计、校正室设计、定容室与心理压力在测量设计、抽气设计、真空箱室漏孔连接方式设计、手机流量导出设计及烘烤设计等8个大部分組成，其組成框图如同1如图。

图1 实地进口真空漏孔校对器组合框图 　　1.2、效准安全装置的构思 　　1.2.1、充气垫系统的 　　空气、体统要根据待校重力作用漏孔漏率的强弱，可供选择择将不同于学习压力的混合汽体可以加入定容室中。空气、体统由2 L气瓶、针阀等根据。为了让完成携便式的作用，也可以不用带入气瓶，构思时留出自备界面，可再生利用工做车间另一混合汽体进行进行校正。 　　1.2.2、效准室系统的

　　校准室系统主要实现对校准室压力监测、氦气离子流的测量，由校准室、四极质谱计、复合真空计等组成，四极质谱计选用HM100质谱计。复合真空计选用全量程真空计，用于监控10⁵～10^-6 Pa 范围内的压力。校准室为不锈钢球形结构，直径约为200 mm，有利于建立起均匀的、各向同性的分子流场。

　　1.2.3、定容室与学习压力联通流量设计

　　定容室与压力流量系统主要提供已知体积的定容室、定容室内气体压力的测量，由定容室、电容薄膜真空计、标准容积及阀门等组成。定容室设计为1 L；由于电容薄膜真空计的读数与气体种类无关，选用电容薄膜真空计作为主标准器，由满量程为133 kPa与133 Pa的两支真空计组成，用于测量定容室内10⁵～10^-1 Pa的压力。同时配备便携式计算机，便于对现场校准数据的记录和计算。

　　1.2.4、抽气设备

　　抽气系统主要对校准室、定容室及各处管道抽真空，也可使用旁路抽气系统直接对校准室、定容室进行粗抽，由分子泵、机械泵、插板阀及截止阀等组成。为实现校准装置体积小、质量轻、极限真空度等指标的要求，机械泵选用DUO2.5、分子泵选用小型泵，其抽速约为80 L/s；为便于将抽气系统与真空系统拆卸，分子泵选用KF法兰接口，便于携带和运输。

　　1.2.5、真空度漏孔联系整体 　　进口重力作用室漏孔连到系统的选购多出入口直接头，应用于连到进口重力作用室漏孔，并将示漏实验室气体获取标定室，可同样标定另一台进口重力作用室漏孔。 　　1.2.6、数据流量输出的设计 　　手机流量内容输出体系由的小圆孔及铜阀组合而成，的小圆孔建议选用皮秒激光打眼的方式方法组成，的的气体从定容室滴出，经的小圆孔進入复位室中， 保障流经的小圆孔的的的气体为分子结构流的情况。 　　1.2.7、烘烤软件系统 　　烘烤软件系统化基本方便使自校室可达较高的极限法抽正空度，对自校室去烘烤，该软件系统化由抽正空金属罐烘烤加热带雨林和的温度保持的这部分組成，当厂房自校必须要的抽正空度较高时，可以用对自校室去烘烤。实现上面对各組成的这部分的效果去深入分析并去了推广搭档，厂房抽正空漏孔自校平衡装置方法结构设计长为2已知。

图2 实地现场负压漏孔校正系统构成的图

3、校准装置结果测量不确定度分析

　　定容法的校正不知道度最其主要由以上份量制成：有气压校正不知道度、面积校正不知道度、事件校正不知道度、体温校正不知道度、体温下跌对接的不知道度；紧固流导法的校正不知道度最其主要由以上份量制成：有气压校正不知道度、圆洞校正不知道度、四极质谱计校正阴阳离子流对接的校正不知道度、体温校正不知道度及体温下跌对接的不知道度，一并注重现场视频学习环境对自校的影响对接的不知道度，路经计算其提炼要求不知道度约为10%。

4、结论

　　现场真空漏孔校准装置的设计中，复合了定容法、固定流导法两种真空漏孔校准方法，采用了分体式结构，可实现小型化和预期的技术指标。现场真空漏孔校准装置的校准范围预计为5×10^-10～5×10^-5 Pa·m³/s，合成标准不确定度预估为10%。通过设计及研制现场真空漏孔校准装置，能减小或避免对环境对真空漏孔的影响及解决真空漏孔现场精确校准的问题，可满足型号对真空检漏的要求。